Главная » Каталог документов » ГОСТ 24392-80

ГОСТ 24392-80
"Кремний и германий монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления четырехзондовым методом"

- 189,00 руб.;
- Официальное издание;
- Доставка или cамовывоз.
- от 95,00 руб./день;
- Мгновенное подключение;
- Различные формы оплаты.
- от 8 790,00 руб.;
- Тысячи (!) документов на DVD;
- Ежеквартальное обновление.

Статус документа: действующий

Дата вступления в действие: 1981-01-01


Документ относится к следующим разделам классификатора:

Нормативно-технические документы. Национальные стандарты
Металлургия
Цветные металлы *Включая классификацию, обозначение, отбор образцов, химический анализ и т.д.
Цветные металлы и их сплавы прочие


Содержание для ознакомления



ВНИМАНИЕ!!
ФРАГМЕНТ ТЕКСТА ДОКУМЕНТА ПРЕДСТАВЛЕН ИСКЛЮЧИТЕЛЬНО ДЛЯ ОЗНАКОМЛЕНИЯ И СОДЕРЖИТ ОШИБКИ
ОРИГИНАЛ ДОКУМЕНТА СООТВЕТСТВУЕТ ОФИЦИАЛЬНОМУ ИЗДАНИЮ

гост 24392-80

КРЕМНИЙ И ГЕРМАНИЙ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ

измерение удельного электрического сопротивления четырехзондовым методом

Иианне официальное

3-

=

7

ИПК ИЗДАТЕЛЬСТВО СТАНДАРТОВ Москва

МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ
УДК 669.782/.783-172:621.317.33:006.354 Группа В59

МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ

КРЕМНИЙ И ГЕРМАНИЙ МОНОКРИСТАПИЧЕСКИЕ

Измерение удельного электрического сопротивления чегырехзонловым методом

Monocrysialline silicon and germanium. Measure mcnl of the ckclrica] resistivity by the four-probe mclhod

ОКСТУ 1770

ГОСТ 24392-80

Дата введения 01.01.81

Настоящий стандарт устанавливает четырех юн довый метод измерения удельного электрического сопротивления на плоской поверхности слитков монокристаллических кремния и германия электронного или дырочного типа электропроводности в диапазоне значений удельного электрического сопротивления от 110 1 Ом см до 1-10* Ом см.

Метод основан на измерении разности потенциалов между двумя зондами четырехзондовой измерительной головки, установленной на поверхности контролируемого образца, при пропускании электрического тока определенной величины через два других точечных зонда, расположенных на той же поверхности, и вычислении удельного электрического сопротивления.

(Измененная редакция, Изм. .Y° 2).

I. АППАРАТУРА И МАТЕРИАЛЫ

Структурная СХЕМА измерительной установки приведена на чертеже.

1

]

I — четырех юмдовая ишеригсльпая голоакл; 2 — источник пас г ом икон) гока; 3— прибор зл% HiMipcHH* jjicumcu-iioio напряжения; 4 — oopjieu

Измерительная установка должна быть аттестована на погрешность измерения удельного электрического сопротивления, не превышающую 5 %.

1.1. Измерительная четырехзондовая головка с четырьмя линейно расположенными зондами из карбида вольфрама должна соответствовать ТРЕБОВАНИЯм, приведенным в табл. I.

Таблица I

11<-иш1л.1Ы11>е iinrirnitc межюндоаою расстояния /q.
СИ
Допустимое оп.тоиенкс меж комовою расстояния. %
Сипа приживи ..г': .: F. II
Лнпенныи paiucp рабочей
ll.1DUja.IMI Н1НДД. '-"1
нс бах ее

ОЛЮ




одзо
±1
0.SO-2.0O
60

0.07S




Издание официальное


Перепечатка воспрещена

О Издательство стандартов. 1980 © ИПК Издательство стандартов. 2001
С. 2 ГОСТ 24392 SO

1.2. Источник постоянного тока, обеспечивающий создание в измерительной цепи электрического тока изменяемой полярности, должен соответствовать ТРЕБОВАНИЯм, приведенным в табл. 2.

Таблица 2

Верхний нредп и1нграем»го удельна га иектончеекито сопрашпленни р. Он сн
Вершин предо.
¦ I.1 VI ;i;i-i-. Ч.1П1 той /. Л
Верхний ВрМы юнгряеиик)
>Ле«ПрИч. . ¦ ..¦ ipMai in'.
V, В
B«iinw ыектоиче1:411! сопротивление шыершельна то прибора Я . Он. не ыенее

мо-3
1.0 ю-1
2.1 10"'
1-10'

МО-2
I.OI0-'
2,1 10-»
1 10*


1,0-10-1
2.1 Ю-1
1-10*

1-10"
8,2-10" 3
1.010-'
1-10''

но1
8,2-10-'
1,0-10-'
1 I07

1-10-
8,2-10-*
t.o ю-1
1-10*

1-10»
8.2-10-¦
1,010-'
210е

но*
8,2-10-ь
1.0 ю-'
1-10"

1.2.1. Допустимая нестабильность электрического тока за время измерений должна быть не более 0.5 %.

1.2.2. Погрешность измерения силы электрического тока — не более 0,5 %.

1.3. Прибор для измерения электрического напряжения с погрешностью не более I % должен соответствовать ТРЕБОВАНИЯм, приведенным в табл. 2.

1.4. Сопротивление изоляции измерительной схемы должно быть не менее входного сопротивления измерительного прибора.

1.5. Вспомогательные устройства и материалы Термометр с погрешностью измерения не более 0.5 *С. Материалы абразивные по ГОСТ 3647.

Инструменты алмазные с применением алмазных порошков по ГОСТ 9206.

Порошки алмазные.

Бумага фильтровальная по ГОСТ 12026.

Бумага промокательная.

Бязь отбеленная по ГОСТ 2929S.

Материал обтирочный — упаковочный, ткань арт. 6313 или 6304. Вода питьевая по ГОСТ 2874*". Спирт этиловый по ГОСТ 18300.

Допускается использование инструментов и материалов, не уступающих вышеУКАЗанным по своим ХАРАКТЕРИСТИКАм и качеству.

2. ПОДГОТОВКА ОБРАЗЦОВ И УСЛОВИЯ ПРОВЕДЕНИЯ ИЗМЕРЕНИЙ

2.1. Измерения проводят на плоских поверхностях, имеющих параметр шероховатости Ra по ГОСТ 2789 не более 2.5 мкм. Измерение удельного электрического сопротивления кремния р-типа электропроводности с р более 10* Омсм проводят на плоских поверхностях с параметром шероховатости R- п диапазоне (20</?.<40) мкм.

2.1.1. Для обеспечения требуемой шероховатости поверхности образны шлифуют абразивными материалами либо инструментами алмазными с применением алмазных порошков.

2.1.2. После шлифовки образцы промывают проточной питьевой или очищенной технической водой, сушат фильтровальной (промокательной) бумагой или другими материалами и обезжиривают спиртом.

2.2. При проведении измерений расстояние между краем (границей плоскости) и ближайшим к нему зондом должно быть не менее 4 /„, где /0 — номинальное значение межзондового расстояния.

2.3. При измерении удельного электрического сопротивления по образующей слитка ширина измерительной дорожки должна быть не менее 6 tg.

2.4. Измерения выполняют при фиксированной температуре (23±2) "С. Ко1ггролнруемые образны доводят до температуры, при которой проводят измерения. Допускается проведение измере-

• На территории Российской Федерации денсгвусг ГОСТ Р 51232—98.
KKI 24392-80 С. 3

ний при фиксированной с но1рсшностью ±0,5 'С температуре в диапазоне (23±5) "С, выполняя температурную коррекцию результатов измерений в соответствии с приложением.

2.5. И1меренис удельного хзектрического сопротивления германия с р более 45 Ом см и кремния с р более 2(H) Ом см выполняют при затемнении обрлша. Для остальных лнапазонов удельною лек три ческою сопротивления лопускается освещенность обра шов рассеянным светом не более 500 л*.

3. ПРОВЕДЕНИЕ ИЗМЕРЕНИЙ И ОБРАБОТКА РЕЗУЛЬТАТОВ

3.1. На поверхность обра ша. ^ганоаленного в держатель, плавно опускают зонды измерительной головки перпендикулярно поверхности.

3.2. Через ОБРАЗЕЦ пропускают электрический ток /и измеряют шачение ранюстн потенциалов между внутренними потенциальными зондами при двух полярностях злемркческого тока. За результат ишерення ришости шинипшии V принимают среднее арифметическое полученных значений. Зтычение электрического тока устанавливают в соответствии с ТРЕБОВАНИЯми табл. 2.

3.3. Вычисляют шачение удельного электрическою сопротивления о. Ом см. по 1|юрмуле (1)

где U — значение разнос ти потенциалов, В;

/— значение электрического тока, при котором проводили измерения, Л: ',фф — эффективное значение межзондоного расстояния. пычисляем<эте по формуле (2»

где /,, /, — расстояния между первым и вторым, вторым и третьим, третьим и четвертым зондами соответственно.

При нспольюванни четырех зондов* >л головки, у которой отклонение меж кщдового расстояния от номинального ничем и» не превышает ±1 %. в формулу (2) подставляют шачение / = <>.

3.4. Допускается проведение измерений и обработка результатов с использованием средств автоматзаинн по алгоритму, множенному в настоящей стазиарте.

Разд. 1-3. (Измеяеяная редакция. Him. .V 2).

4. ПРЕДСТАВЛЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ ИЗМЕРЕНИЙ И НОРМЫ

НА ПОКАЗАТЕЛИ ТОЧНОСТИ

4.1. Результатом измерения удельного электрического сопротивления является величина, вычисленная по формуле (I).

4.2. Случайная составляющая погрешности измерения удельного электрического сопротивления, харАКТеризующая сходимость результатов измерений, не превышает t2 % при ло верительной вероятности Р - 0,95.

4.3. Суммарная ноттнчниость измерения не превышает ±5 % при контроле образцов с р?|0' Ом см и не преньшшет ±Н % при контроле образцов с удельным электрическим сопротивлением более Ю1 Ом см при доверительной вероятности /' ¦ 0,95.

4.4. Результат измерения удельного центрического сопротивлении предстиичяют трехзначным числом, если нерпой цифрой являются I, 2. 3, и двузначным, если периая нифра более 3.

Разд. 4 (Введен дополнительно. Изм. № 2).



-=ОКОНЧАНИЕ ФРАГМЕНТА ДОКУМЕНТА=-

Документ ГОСТ 24392-80 можно получить тремя способами:

Приобрести полный комплект актуальных документов в виде электронного справочника на DVD. Мы предлагаем специализированные справочники для разных отраслей хозяйственной деятельности.

Так же, можно скачать ГОСТ 24392-80 или любой другой документ очень быстро и за смешные деньги, с оплатой любым способом (электронными деньгами, безналичным расчетом, отправкой SMS).

Если требуется официальное издание, то можно купить ГОСТ 24392-80 - печатную форму документа для технических библиотек и лицензирования деятельности предприятия.