Главная » Каталог документов » ГОСТ 26239.1-84
ГОСТ 26239.1-84
ВНИМАНИЕ!!
ФРАГМЕНТ ТЕКСТА ДОКУМЕНТА ПРЕДСТАВЛЕН ИСКЛЮЧИТЕЛЬНО ДЛЯ ОЗНАКОМЛЕНИЯ И СОДЕРЖИТ ОШИБКИ
ОРИГИНАЛ ДОКУМЕНТА СООТВЕТСТВУЕТ ОФИЦИАЛЬНОМУ ИЗДАНИЮ
УДК 6М.7в»:541.06:вО6.3Я Группа 49
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР
КРЕМНИЙ ЛОЛУПРОВОДНИКОВЫЯ ИСХОДНЫЕ ПРОДУКТЫ ДЛЯ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ и КВАРЦ
Метод опр еде ленча примесей
Semiconductor silicon, isw materials for its production and quarts Method ol impurities determination
ОКСТУ 1709
ГОСТ 26239.1-84
ПОСТАНОВЛЕНИЕм foe у да ре та ей нот о комитета СССР по стандартам от И июля ¦931 т. "-' 7490 срок действия уоаиоаяен
с 0IOI.S6
до 01.01.91
Несоблюдение стандарта преследуется по аакону
Настоящий стандарт устанавливает химико-спектральный метод определения примесей в интервалах значений массовых долей, приведенных в табл. I. в полупроводниковом кремнии, двуокиси кремния, кварце, четырех хлористом кремнии и трихлорсилане.
Та из иua I
Интервалы определяемых значений массовой доли при мес сч
OU|4'*>»<'MJ« OpKDVCb
Алюминий
Внсиуг
Желло
Золота
Кадмий
Кобальт
.Пашиц
Марганец
Медь
Никель
Оаово
Свигеи
Ccpefipo
Сурьма
Тнтзн
Хром
Иинк
.|||||>р>|. Ull'tlliufi
еаикврогфлА дфс
¦ :и. ¦ I, ¦ р*] сведаев
В полупроводниковом креин-и
От 2)0 От fi-IO ¦ От 210-'
or 2-:о '
От 6-1п-* Or 5-1У От МО" Ог 5-10 ¦ Or MOOT l-IO-Or 210-Oi 2-10 " Or 2-10 1 Or2-lfl ' Or 2-10 -Or i-10 •• Or MOOT 2-1С—
* до 6-10— 1
• ли МО 1
ло 2-10"'% дп 210-% jo в-10-"% диЬ-10-'%
j<. 2-10- '% до 2-10-1% до 2-10 до ;Н0-» % до fi-10 •% *.6V|0-"% до (И0 b% до 11-10-'% ло fi-IO-»S, до ti-10-0 % ди &I0 ¦* % до 2-10-'%
Or От От о. Oi От Oi
'¦-Oi Oi От Ot От От От От Oi От
210 " •но ¦ 2-10 ¦' 2Щ ¦ 2-10—' 6-1 ft-* 610-°
5-10 ¦«
МО-'
МО-'
2-10-»
2-10 6
2-10-¦
6-Ю
«¦10-*
5-I0-'
2-!С-"
2-10 А
до .'1С •%
до (НО 'Ч> до НО-' \ л» 2-10 1 4> до 210 '% до ->W 1 'Ь до 2-14 -« *ь
до 2-к;-"ь
до 210 до 6-Ю-• до 2-IC- * до МО- « до 210 '% до 6-1(1- % до 210 '% до 210- % до 2-10- • % до 2-10 *Ч
И) дач не официальное *
Перепечатка воспрещен*
Стр. 2 ГОСТ 2«J».1-W
Продолжение* табл. I
On рсап ¦»•«•• пр»-«
,llli|l(lJI.UK.'IEI 14 Л
|. йен Я
лчнтрсии.
В двуокиси кремния, кварие
Л.шинниО
Внсиуг
Железо
Золото
Кадмии
Кальвин'
Кобальт
Мишин
Марганец
Медь
Никель
Олово
Cbhiccu
С* ребро
Сурьма
Тнгаи
Хром
Цннч
А.-ющшнй
Висмут
Желеда
Золото
К.1.||иий
Кальций
Кобальт
Магинй
Марганец
Мель
Пнкг.'Ь
Cdkhcu
ОреБрп
Сурьма
Титас
\;ir:--Illlll>.
Or 5-10-¦*
отз-ю *
От 1-10—* От 1-10 ' От 3-10—' От 3-10-• От 1-10-' От 5-10 •¦' От МО
От От
От От От От От От От
I-10 " 1-10—-* 1-10—' 1-10—" 1-10—• 1-10—•
з-ю-1
М0-' МО-;
до 3-10 -1 \ до МО-1 % до М0-* " до МО-1 до 3-10 ' до 3-W-* до I -10— * до МО—1 . до МО »<эХ до МО-1* до М0-* % ло 3.10--*% до 3-10 *• *4 до 3-10-' X до 3-10 ' *Ь до МО--1* до МО-* % до МО -* ч
От МО-1 до От 3-10 'до От МО * ди От МО » до От МО-' До Or М0-* до От 3-10—* до От МО—* до От МО—1 до От МО ' до ; От МО * до От МО- ¦ до Or I -10—* До От 3-10—* до ; От 3-10-* до От 3-10 до От МО—* до От МО * да
В четырех хлор истом кремнии, трихдоргилане
От От От
От
От
2-I0-* МО--" МО—' От 4-10 * От МО 1 ¦10-' МО-' Oi 210 * От 4-10-' От 4-10 1 От 5-10-' От 510* От М0-" От 4-10 От 1М0-' От МО ¦* От 4-10—'
до 1-10-*% до М0--' % до МО »% до 4-10—' до М0-' % до 4-10-"% до 4-10-'% до 4-10-' % до 4-10-*«Ь до М0-»% до МО т% до М0-' до М0-* до М0-'% до М0-"Ь до МО—' % до 4-10-»%
От 2-10 • От М0-* От МО -> От 4-I0-" От 410 -Ol 4-10 От МО-' Or 2-10 • От 4-10 * Ol 4-10-' От 4-10- в От 4-10-» От МО- * Oi МО—* От 2-10-" Oi 4-!0- * От 4-10 *
Ло4-10-"% до 1-10" т» до 4-Ю * » до 4-10 до 4-10-'• ло 4-10 1 % Д.. 4-Ю-'Ч, до 410 •% до 4-:о-- % до М0-'% до 4-Ю * -i, до4>Ю '%
до ко '*
до 4-10 • « до 4-10—' %
до 4-:о • %
д« 4-IO- ' Ъ
Метод основан на предварительном концентрировании примесей путем удаления основного элемента — кремния в виде тетрафторн-да при анализе полупроводникового кремния, двуокиси кремния, кварца, и в виде тетрахлорнда—тетрафторпда при анализе четы-реххлористого кремния и трихлорсилана. получении концентрата примесей па графитовом порошке и последующем спектральном анализе концентрата примесей в присутствии хлористого натрия.
гост 1ЫЭ«.1-м Op. 3
1. общие ТРЕБОВАНИЯ
1.1. Обшне ТРЕБОВАНИЯ к методу анализа- по ГОСТ 26239.0—84. 2. аппаратура, материалы и реаитивы
Спектрограф дифракционный тика ДФС-8 с решеткой 600 штр/мм с двухлнизовой системой освещения (линза F-75 диаметром 25 мм) или спектрограф средней дисперсии типа ИСП-28 с трехлннзовой системой освещения.
Генератор дуговой типа ДГ-2 с дополнительным реостатом, приспособленный для поджнта дуги постоянного тока высокочастотным разрядом.
Выпрямитель 250 300 В. 30- 50 А.
Микрофотометр типа МФ-2.
Спектроироектор тнпа СПП-2.
Весы аналитические.
Весы торсионные.
Станок для заточки графитовых электродов.
Электроды графитовые, выточенные нз графитовых стержней ОСЧ-7—3 диаметром 6 мм. заточенные на конус с углом прн вершине 15° и с площадкой диаметром 1,5 мм на конце, обожженные в дуге постоянного тока при 15 А в течение 15 с.
Электроды графитовые дна метром 6 мм, с каналом глубиной 3 им и диаметром 4 мм, выточенные из графитовых стержней ОСЧ-7— 3. обожженные в дуге постоянного тока прн 15 А в течение 15 с.
Очистке обжигом подвергают каждую пару электродов непосредственно перед анализом (электрод, заточенный на конус - катод, электрод с каналом — анод).
Графит порошковый по ГОСТ 23463—79, ОСЧ-8—4.
Лампа инфракрасная тнпа ИКЗ-500 с регулятором напряжения гипа РПО-250-0.5.
Стаканы фторопластовые с завинчивающимися крышками вместимостью 20—25 см1 н 75 80 см3.
Чашки с крышками нз стекло\тлерода н фторопласта вместимостью 25—30 см3.
Чашки фторопластовые вместимостью 20 и 100 см3.
Цилиндры ия органического стекла на 10 и 50 см3.
Ступка и пестик из органического стекла.
Бокс из органического стекла тнпа 8БП1-ОС для подготовки проб к спектральному анализу.
Бокс из органического стекла типа 2БП2-ОС для химической подготовки проб с очищенным через ткань Петрянова воздухом.
Приспособления нз оргапнческого стекла для подготовки проб к спектральному анализу {подставки для графитовых электродов, шпатели, нзбнвалки).
7
Стр. Л ГОСТ 14
Насадка с прорезью высотой 5 мм, надеваемая на щель спекгро-графа ДФС-8.
Электроплитки с ТЕРМорегулятором, покрытые кварцевыми кюветами или другим покрытием, исключающим загрязнения.
Шкаф сушильный на температуру до ISO "С
Алюминий первичный по ГОСТ" 11069—74 марки А99 нли окись алюминия безводная для спектрального анализа.
Biicmvt по ГОСТ 10928—75 марок ВнО, ВнОО или окись висмута но ГОСТ 10216-75.
Железо карбонильное радиотехническое по ГОСТ 13610— * 79 марки Г!с или окись железа по ГОСТ 4173—77, ч.д.а.
Золото по ГОСТ 6835 80 марки Зл 999.
Кадмий по ГОСТ 1467—77 марки Кд-2 или окись кадмия по ГОСТ 11120-75.
Кобальт по ГОСТ 123- 78 марки К I или закнсь-окнсь кобальта, ч. нлн ч.д.а.
Кальций углекислый по ГОСТ 4530—76. х.ч.
Магний первичный по ГОСТ 804—72 марки Мг-90 или окись магния по ГОСТ 4526—75. чл.а.
Марганец металлический по ГОСТ 6008—82 марки Мр 0 или Мр 00 нлн двуокись марганца безводная, ос.ч.
Медь по ГОСТ 859—78 марки МЗ нлн окись меди но ГОСТ 16539-79, порошкообразная.
Никель по ГОСТ 849 70 марки Н-2 или окись никеля черная по ГОСТ 4331—78, ч.
Олово двуокись по ГОСТ 22516—-77. ч.д.а.
Свинец по ГОСТ 3778—77 марки СЗ пли окись свинца по ГОСТ 9199—77. ч.д.а.
Серебро по ГОСТ 6836—80 марки Ср 999.0 нлн Ср 999.9 нлн азотнокислое серебро по ГОСТ 1277—75, ч. Сурьма (Ml) окись, ос.ч.
Титан губчатый по ГОСТ 17746-79 марки ТГ - 90. Хром по ГОСТ 5905-79 марки Х00.
Цинк го ГОСТ 3640-79 или цинка окись по ГОСТ 10262-73.
Кислота соляная по ГОСТ 3118 77, х.ч.. нли кислота соляная особой чистоты по ГОСТ 14261—77 перегнанная во фторопластовом приборе или дважды перегнанная в
-=ОКОНЧАНИЕ ФРАГМЕНТА ДОКУМЕНТА=-
ГОСТ 26239.1-84
"Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей"
Статус документа: действующий
Дата вступления в действие: 1986-01-01
Документ относится к следующим разделам классификатора:
ВНИМАНИЕ!!
ФРАГМЕНТ ТЕКСТА ДОКУМЕНТА ПРЕДСТАВЛЕН ИСКЛЮЧИТЕЛЬНО ДЛЯ ОЗНАКОМЛЕНИЯ И СОДЕРЖИТ ОШИБКИ
ОРИГИНАЛ ДОКУМЕНТА СООТВЕТСТВУЕТ ОФИЦИАЛЬНОМУ ИЗДАНИЮ
УДК 6М.7в»:541.06:вО6.3Я Группа 49
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР
КРЕМНИЙ ЛОЛУПРОВОДНИКОВЫЯ ИСХОДНЫЕ ПРОДУКТЫ ДЛЯ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ и КВАРЦ
Метод опр еде ленча примесей
Semiconductor silicon, isw materials for its production and quarts Method ol impurities determination
ОКСТУ 1709
ГОСТ 26239.1-84
ПОСТАНОВЛЕНИЕм foe у да ре та ей нот о комитета СССР по стандартам от И июля ¦931 т. "-' 7490 срок действия уоаиоаяен
с 0IOI.S6
до 01.01.91
Несоблюдение стандарта преследуется по аакону
Настоящий стандарт устанавливает химико-спектральный метод определения примесей в интервалах значений массовых долей, приведенных в табл. I. в полупроводниковом кремнии, двуокиси кремния, кварце, четырех хлористом кремнии и трихлорсилане.
Та из иua I
Интервалы определяемых значений массовой доли при мес сч
OU|4'*>»<'MJ« OpKDVCb
Алюминий
Внсиуг
Желло
Золота
Кадмий
Кобальт
.Пашиц
Марганец
Медь
Никель
Оаово
Свигеи
Ccpefipo
Сурьма
Тнтзн
Хром
Иинк
.|||||>р>|. Ull'tlliufi
еаикврогфлА дфс
¦ :и. ¦ I, ¦ р*] сведаев
В полупроводниковом креин-и
От 2)0 От fi-IO ¦ От 210-'
or 2-:о '
От 6-1п-* Or 5-1У От МО" Ог 5-10 ¦ Or MOOT l-IO-Or 210-Oi 2-10 " Or 2-10 1 Or2-lfl ' Or 2-10 -Or i-10 •• Or MOOT 2-1С—
* до 6-10— 1
• ли МО 1
ло 2-10"'% дп 210-% jo в-10-"% диЬ-10-'%
j<. 2-10- '% до 2-10-1% до 2-10 до ;Н0-» % до fi-10 •% *.6V|0-"% до (И0 b% до 11-10-'% ло fi-IO-»S, до ti-10-0 % ди &I0 ¦* % до 2-10-'%
Or От От о. Oi От Oi
'¦-Oi Oi От Ot От От От От Oi От
210 " •но ¦ 2-10 ¦' 2Щ ¦ 2-10—' 6-1 ft-* 610-°
5-10 ¦«
МО-'
МО-'
2-10-»
2-10 6
2-10-¦
6-Ю
«¦10-*
5-I0-'
2-!С-"
2-10 А
до .'1С •%
до (НО 'Ч> до НО-' \ л» 2-10 1 4> до 210 '% до ->W 1 'Ь до 2-14 -« *ь
до 2-к;-"ь
до 210 до 6-Ю-• до 2-IC- * до МО- « до 210 '% до 6-1(1- % до 210 '% до 210- % до 2-10- • % до 2-10 *Ч
И) дач не официальное *
Перепечатка воспрещен*
Стр. 2 ГОСТ 2«J».1-W
Продолжение* табл. I
On рсап ¦»•«•• пр»-«
,llli|l(lJI.UK.'IEI 14 Л
|. йен Я
лчнтрсии.
В двуокиси кремния, кварие
Л.шинниО
Внсиуг
Железо
Золото
Кадмии
Кальвин'
Кобальт
Мишин
Марганец
Медь
Никель
Олово
Cbhiccu
С* ребро
Сурьма
Тнгаи
Хром
Цннч
А.-ющшнй
Висмут
Желеда
Золото
К.1.||иий
Кальций
Кобальт
Магинй
Марганец
Мель
Пнкг.'Ь
Cdkhcu
ОреБрп
Сурьма
Титас
\;ir:--Illlll>.
Or 5-10-¦*
отз-ю *
От 1-10—* От 1-10 ' От 3-10—' От 3-10-• От 1-10-' От 5-10 •¦' От МО
От От
От От От От От От От
I-10 " 1-10—-* 1-10—' 1-10—" 1-10—• 1-10—•
з-ю-1
М0-' МО-;
до 3-10 -1 \ до МО-1 % до М0-* " до МО-1 до 3-10 ' до 3-W-* до I -10— * до МО—1 . до МО »<эХ до МО-1* до М0-* % ло 3.10--*% до 3-10 *• *4 до 3-10-' X до 3-10 ' *Ь до МО--1* до МО-* % до МО -* ч
От МО-1 до От 3-10 'до От МО * ди От МО » до От МО-' До Or М0-* до От 3-10—* до От МО—* до От МО—1 до От МО ' до ; От МО * до От МО- ¦ до Or I -10—* До От 3-10—* до ; От 3-10-* до От 3-10 до От МО—* до От МО * да
В четырех хлор истом кремнии, трихдоргилане
От От От
От
От
2-I0-* МО--" МО—' От 4-10 * От МО 1 ¦10-' МО-' Oi 210 * От 4-10-' От 4-10 1 От 5-10-' От 510* От М0-" От 4-10 От 1М0-' От МО ¦* От 4-10—'
до 1-10-*% до М0--' % до МО »% до 4-10—' до М0-' % до 4-10-"% до 4-10-'% до 4-10-' % до 4-10-*«Ь до М0-»% до МО т% до М0-' до М0-* до М0-'% до М0-"Ь до МО—' % до 4-10-»%
От 2-10 • От М0-* От МО -> От 4-I0-" От 410 -Ol 4-10 От МО-' Or 2-10 • От 4-10 * Ol 4-10-' От 4-10- в От 4-10-» От МО- * Oi МО—* От 2-10-" Oi 4-!0- * От 4-10 *
Ло4-10-"% до 1-10" т» до 4-Ю * » до 4-10 до 4-10-'• ло 4-10 1 % Д.. 4-Ю-'Ч, до 410 •% до 4-:о-- % до М0-'% до 4-Ю * -i, до4>Ю '%
до ко '*
до 4-10 • « до 4-10—' %
до 4-:о • %
д« 4-IO- ' Ъ
Метод основан на предварительном концентрировании примесей путем удаления основного элемента — кремния в виде тетрафторн-да при анализе полупроводникового кремния, двуокиси кремния, кварца, и в виде тетрахлорнда—тетрафторпда при анализе четы-реххлористого кремния и трихлорсилана. получении концентрата примесей па графитовом порошке и последующем спектральном анализе концентрата примесей в присутствии хлористого натрия.
гост 1ЫЭ«.1-м Op. 3
1. общие ТРЕБОВАНИЯ
1.1. Обшне ТРЕБОВАНИЯ к методу анализа- по ГОСТ 26239.0—84. 2. аппаратура, материалы и реаитивы
Спектрограф дифракционный тика ДФС-8 с решеткой 600 штр/мм с двухлнизовой системой освещения (линза F-75 диаметром 25 мм) или спектрограф средней дисперсии типа ИСП-28 с трехлннзовой системой освещения.
Генератор дуговой типа ДГ-2 с дополнительным реостатом, приспособленный для поджнта дуги постоянного тока высокочастотным разрядом.
Выпрямитель 250 300 В. 30- 50 А.
Микрофотометр типа МФ-2.
Спектроироектор тнпа СПП-2.
Весы аналитические.
Весы торсионные.
Станок для заточки графитовых электродов.
Электроды графитовые, выточенные нз графитовых стержней ОСЧ-7—3 диаметром 6 мм. заточенные на конус с углом прн вершине 15° и с площадкой диаметром 1,5 мм на конце, обожженные в дуге постоянного тока при 15 А в течение 15 с.
Электроды графитовые дна метром 6 мм, с каналом глубиной 3 им и диаметром 4 мм, выточенные из графитовых стержней ОСЧ-7— 3. обожженные в дуге постоянного тока прн 15 А в течение 15 с.
Очистке обжигом подвергают каждую пару электродов непосредственно перед анализом (электрод, заточенный на конус - катод, электрод с каналом — анод).
Графит порошковый по ГОСТ 23463—79, ОСЧ-8—4.
Лампа инфракрасная тнпа ИКЗ-500 с регулятором напряжения гипа РПО-250-0.5.
Стаканы фторопластовые с завинчивающимися крышками вместимостью 20—25 см1 н 75 80 см3.
Чашки с крышками нз стекло\тлерода н фторопласта вместимостью 25—30 см3.
Чашки фторопластовые вместимостью 20 и 100 см3.
Цилиндры ия органического стекла на 10 и 50 см3.
Ступка и пестик из органического стекла.
Бокс из органического стекла тнпа 8БП1-ОС для подготовки проб к спектральному анализу.
Бокс из органического стекла типа 2БП2-ОС для химической подготовки проб с очищенным через ткань Петрянова воздухом.
Приспособления нз оргапнческого стекла для подготовки проб к спектральному анализу {подставки для графитовых электродов, шпатели, нзбнвалки).
7
Стр. Л ГОСТ 14
Насадка с прорезью высотой 5 мм, надеваемая на щель спекгро-графа ДФС-8.
Электроплитки с ТЕРМорегулятором, покрытые кварцевыми кюветами или другим покрытием, исключающим загрязнения.
Шкаф сушильный на температуру до ISO "С
Алюминий первичный по ГОСТ" 11069—74 марки А99 нли окись алюминия безводная для спектрального анализа.
Biicmvt по ГОСТ 10928—75 марок ВнО, ВнОО или окись висмута но ГОСТ 10216-75.
Железо карбонильное радиотехническое по ГОСТ 13610— * 79 марки Г!с или окись железа по ГОСТ 4173—77, ч.д.а.
Золото по ГОСТ 6835 80 марки Зл 999.
Кадмий по ГОСТ 1467—77 марки Кд-2 или окись кадмия по ГОСТ 11120-75.
Кобальт по ГОСТ 123- 78 марки К I или закнсь-окнсь кобальта, ч. нлн ч.д.а.
Кальций углекислый по ГОСТ 4530—76. х.ч.
Магний первичный по ГОСТ 804—72 марки Мг-90 или окись магния по ГОСТ 4526—75. чл.а.
Марганец металлический по ГОСТ 6008—82 марки Мр 0 или Мр 00 нлн двуокись марганца безводная, ос.ч.
Медь по ГОСТ 859—78 марки МЗ нлн окись меди но ГОСТ 16539-79, порошкообразная.
Никель по ГОСТ 849 70 марки Н-2 или окись никеля черная по ГОСТ 4331—78, ч.
Олово двуокись по ГОСТ 22516—-77. ч.д.а.
Свинец по ГОСТ 3778—77 марки СЗ пли окись свинца по ГОСТ 9199—77. ч.д.а.
Серебро по ГОСТ 6836—80 марки Ср 999.0 нлн Ср 999.9 нлн азотнокислое серебро по ГОСТ 1277—75, ч. Сурьма (Ml) окись, ос.ч.
Титан губчатый по ГОСТ 17746-79 марки ТГ - 90. Хром по ГОСТ 5905-79 марки Х00.
Цинк го ГОСТ 3640-79 или цинка окись по ГОСТ 10262-73.
Кислота соляная по ГОСТ 3118 77, х.ч.. нли кислота соляная особой чистоты по ГОСТ 14261—77 перегнанная во фторопластовом приборе или дважды перегнанная в
-=ОКОНЧАНИЕ ФРАГМЕНТА ДОКУМЕНТА=-
Документ ГОСТ 26239.1-84 можно получить тремя способами:
Приобрести полный комплект актуальных документов в виде электронного справочника на DVD. Мы предлагаем специализированные справочники для разных отраслей хозяйственной деятельности.
Так же, можно скачать ГОСТ 26239.1-84 или любой другой документ очень быстро и за смешные деньги, с оплатой любым способом (электронными деньгами, безналичным расчетом, отправкой SMS).
Если требуется официальное издание, то можно купить ГОСТ 26239.1-84 - печатную форму документа для технических библиотек и лицензирования деятельности предприятия.
