Главная » Каталог документов » ГОСТ Р 8.643-2008

ГОСТ Р 8.643-2008
"Государственная система обеспечения единства измерений. Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения в диапазоне длин волн 10 - 30 нм. Методика поверки"

- 132,00 руб.;
- Официальное издание;
- Доставка или cамовывоз.
- от 95,00 руб./день;
- Мгновенное подключение;
- Различные формы оплаты.
- от 8 790,00 руб.;
- Тысячи (!) документов на DVD;
- Ежеквартальное обновление.

Статус документа: действующий

Дата вступления в действие: 2009-02-01


Документ относится к следующим разделам классификатора:

Нормативно-технические документы. Национальные стандарты
Метрология и измерения. Физические явления
Метрология и измерения в целом *Включая измерительные приборы в целом, предпочтительные числа, эталонные меры, общие аспекты эталонных материалов и т. д.


Содержание для ознакомления



ВНИМАНИЕ!!
ФРАГМЕНТ ТЕКСТА ДОКУМЕНТА ПРЕДСТАВЛЕН ИСКЛЮЧИТЕЛЬНО ДЛЯ ОЗНАКОМЛЕНИЯ И СОДЕРЖИТ ОШИБКИ
ОРИГИНАЛ ДОКУМЕНТА СООТВЕТСТВУЕТ ОФИЦИАЛЬНОМУ ИЗДАНИЮ

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ

НАЦИОНАЛЬНЫЙ ГОСТ Р

СТАНДАРТ „ - . ,_

РОССИЙСКОЙ о.очз

ФЕДЕРАЦИИ 2008

Государственная СИСТЕМА обеспечения единства измерений

РЕФЛЕКТОМЕТРЫ ЭКСТРЕМАЛЬНОГО УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ В ДИАПАЗОНЕ ДЛИН ВОЛН 10—30 нм

МЕТОДИКА поверки

Издание официаль
ГОСТ Р 8.643—2008

Предисловие

ИнФОРМАция об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодно издаваемом инФОРМАционном УКАЗателе «Национальные стандарты», а текст изменений и поправок — в ежемесячно издаваемых инФОРМАционных УКАЗателях «Национальные стандарты». В случае пересмотра (замены) ипи отмены настоящего стандарта соответствующее УВЕДОМЛЕНИЕ будет опубликовано в ежемесячно издаваемом инФОРМАционном УКАЗатепе «Национальные стандарты». Соответствующая инФОРМАция, УВЕДОМЛЕНИЕ и тексты размещаются также в инФОРМАционной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агентства по техническому регупироеанию и метрологии в сети Интернет

© Стандартинформ. 2008

Настоящий стандарт не может быть полиостью ипи частично воспроизведен, тиражирован и распространен в качестве официапьного издания без разрешения Федерапьного агентства по техническому регулированию и метрологии

Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным ЗАКОНом от 27 декабря 2002 г. г* 184-ФЗ «О техническом регулировании», а ПРАВИЛА применения национальных стандартов Российской Федерации — ГОСТ Р 1.0—2004 «Стандартизация в Российской Федерации. Основные положения»

Сведения о стандарте

t РАЗРАБОТАН Федеральным государственным унитарным предприятием «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП ВНИИОФИ)

2 ВНЕСЕН Управлением метрологии Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии

3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ ПРИКАЗом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 2 июня 2008 г. Не 113-ст

4 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ
ГОСТ Р 8.643—2008

НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

Государственная СИСТЕМА обеспечения единства измерений

РЕФЛЕКТОМЕТРЫ ЭКСТРЕМАЛЬНОГО УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ В ДИАПАЗОНЕ ДЛИН ВОЛН 10—30 нм

МЕТОДИКА поверки

Slate system for ensuring the uniformity of measurements. Reflactometers for extreme ultraviolet radiation In 10—30 nm wave-length range. Verification procedure

Дата введения — 2009—02—01

1 Область применения

Настоящий стандарт распространяется на средства измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражений в диапазоне экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) излучения — ЭУ ©-рефлектометры, используемые е диапазоне измеряемых значений коэффициентов зеркального и диффузного отражений от 0,01 до 0,7 в диапазоне длин волн 10 — 30 нм (далее — ЭУФ-рефлектомегры). и устанавливает методику их поверки.

Измерения коэффициентов зеркального и диффузного отражений в диапазоне ЭУФ проводят дпя определения эффективности зеркал и дифракционных решеток при контроле технологических процессов формирования многослойных наноструктур.

В качестве источников ЭУФ-излучения используют источники синхронного излучения, переходного излучения и излучатели типа плазменный фокус. В качестве приемников ЭУФ-излучения используют кремниевые фотодиоды с многослойными нанопокрытиями, вторичные электронные умножитепи и канальные электронные умножители.

Межповерочный интервал — не более одного года.

2 НОРМАТИВные ссылки

В настоящем стандарте использованы НОРМАТИВные ссылки на следующие стандарты:

ГОСТ 8.197—2005 Государственная СИСТЕМА обеспечения единства измерений. Государственная поверочная СХЕМА для средств измерений спектральной плотности энергетической яркости в диапазоне длин волн от 0.04 до 0.25 мкм.

ГОСТ 8.207—76 Государственная СИСТЕМА обеспечения единства измерений. Прямые измерения с мно

-=ОКОНЧАНИЕ ФРАГМЕНТА ДОКУМЕНТА=-

Документ ГОСТ Р 8.643-2008 можно получить тремя способами:

Приобрести полный комплект актуальных документов в виде электронного справочника на DVD. Мы предлагаем специализированные справочники для разных отраслей хозяйственной деятельности.

Так же, можно скачать ГОСТ Р 8.643-2008 или любой другой документ очень быстро и за смешные деньги, с оплатой любым способом (электронными деньгами, безналичным расчетом, отправкой SMS).

Если требуется официальное издание, то можно купить ГОСТ Р 8.643-2008 - печатную форму документа для технических библиотек и лицензирования деятельности предприятия.