Главная » Каталог документов » ГОСТ 25661-83

ГОСТ 25661-83
"Установки для финишной очистки воды. Общие технические требования"

- 73,00 руб.;
- Официальное издание;
- Доставка или cамовывоз.
- от 95,00 руб./день;
- Мгновенное подключение;
- Различные формы оплаты.
- от 8 790,00 руб.;
- Тысячи (!) документов на DVD;
- Ежеквартальное обновление.

Статус документа: действующий

Дата вступления в действие: 1984-01-01


Документ относится к следующим разделам классификатора:


Содержание для ознакомления



ВНИМАНИЕ!!
ФРАГМЕНТ ТЕКСТА ДОКУМЕНТА ПРЕДСТАВЛЕН ИСКЛЮЧИТЕЛЬНО ДЛЯ ОЗНАКОМЛЕНИЯ И СОДЕРЖИТ ОШИБКИ
ОРИГИНАЛ ДОКУМЕНТА СООТВЕТСТВУЕТ ОФИЦИАЛЬНОМУ ИЗДАНИЮ


МЕЖГОСУДАРСТВЕН НЫЙ

Групп» Э71 СТАНДАРТ

УСТАНОВКИ ДЛЯ ФИНИШНОЙ ОЧИСТКИ ВОДЫ

Обшне технические ТРЕБОВАНИЯ

Installations Гог final water treatment. General technical requirement

ГОСТ 25661-83

МКС 13.060.30 OKI! 63 6101

Дата введения 01.1И.Й4

1. Настоящий стандарт распространяется на установки финишной очистки воды (далее — установки), предназначенные дтя деионнзанни воды с последующей стерилизацией и очисткой от микрочастиц и микроорганизмов непосредственно на месте использования при производстве изделий микроэлектроники 4 степени интеграции.

Пояснения ТЕРМинов, применяемых в настоящем стандарте, приведены в приложении (Измененная редакция, Изм. № 1).

2. Очистку воды следует проводить на установке, СХЕМА которой приведена иа чертеже.

3. В установку следует подавать предварительно деионизованную воду с параметрами, УКАЗанны -¦иже:

удельное сопротивление воды при температуре (20±2) 'С, МОм -см. нс менее . 1.0

содержание органических вешеств по КМп04. мг/д, нс более .,........1.5

МПа.............................0,1-0.25

ми

4. При подаче предварительно деионизованной воды установка должна обеспечивать производительность не менее 0,5 м'/ч.

Для получения деионизованной воды производительностью свыше 0.5 м'/ч следует устанавливать несколько установок и включать их параллельно.

Шв

Р.адача воды

I — i'ii4 ,т!).1 .ии. 2 — расюаомер; 3. 5 в 10 — манометры; ' * блок фильтров. 4.1 и 4.2— ионообменные фильтры. 4.3 — фильтр прелварнтельнай очистки oi микрочле ни;; 6 и 14 — приборы для намерения удельного сопротивления волы: ? н 13 — датчики удельною сопротивлении волы; S — блок ультра фиолетово Я стерилнииии; 9 - фильтр ганкой очистки от микрочастиц: /' - потребитель; 12 — Блок вошраи

Примечание. При отсутствии требований к содержанию в деионизованной иоде микроорганизмов и микрочастиц из схемы установки следует исключить поз. 8—10.

Издание официальное

Перепечатка воспрещена
С. 2 ГОСТ 25661 83

5. Установка должна сюеспечивать получение дснониювашюй волы с параметрами, ужинными ниже:

узс.1ыюс сопротивление волы при температуре (20t2( *С. МОм-см. нс менее . IB

содержание «лектршнтов. мг/л, небсиес..................0.02

садсржаниеорглничсстим веществ тюКМпО^ mi/л,

-=ОКОНЧАНИЕ ФРАГМЕНТА ДОКУМЕНТА=-


Документ ГОСТ 25661-83 можно получить тремя способами:

Приобрести полный комплект актуальных документов в виде электронного справочника на DVD. Мы предлагаем специализированные справочники для разных отраслей хозяйственной деятельности.

Так же, можно скачать ГОСТ 25661-83 или любой другой документ очень быстро и за смешные деньги, с оплатой любым способом (электронными деньгами, безналичным расчетом, отправкой SMS).

Если требуется официальное издание, то можно купить ГОСТ 25661-83 - печатную форму документа для технических библиотек и лицензирования деятельности предприятия.