Главная » Каталог документов » ГОСТ Р 8.640-2008

ГОСТ Р 8.640-2008
"Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки"

- 192,00 руб.;
- Официальное издание;
- Доставка или cамовывоз.
- от 95,00 руб./день;
- Мгновенное подключение;
- Различные формы оплаты.
- от 8 790,00 руб.;
- Тысячи (!) документов на DVD;
- Ежеквартальное обновление.

Статус документа: действующий

Дата вступления в действие: 2009-01-01


Документ относится к следующим разделам классификатора:

Нормативно-технические документы. Национальные стандарты
Метрология и измерения. Физические явления
Метрология и измерения в целом *Включая измерительные приборы в целом, предпочтительные числа, эталонные меры, общие аспекты эталонных материалов и т. д.


Содержание для ознакомления



ВНИМАНИЕ!!
ФРАГМЕНТ ТЕКСТА ДОКУМЕНТА ПРЕДСТАВЛЕН ИСКЛЮЧИТЕЛЬНО ДЛЯ ОЗНАКОМЛЕНИЯ И СОДЕРЖИТ ОШИБКИ
ОРИГИНАЛ ДОКУМЕНТА СООТВЕТСТВУЕТ ОФИЦИАЛЬНОМУ ИЗДАНИЮ

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ

НАЦИОНАЛЬНЫЙ ГОСТР

СТАНДАРТ о СДР,—

российской о.очи

ФЕДЕРАЦИИ 2008

Государственная СИСТЕМА обеспечения единства измерений

РАДИОМЕТРЫ УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ В ФОТОЛИТОГРАФИИ

МЕТОДИКА поверки

Издание официапь
ГОСТ Р 8.640—2008

Предисловие

ИнФОРМАция об изменениях к настоящему стандарту пубпикуется в УКАЗателе «Национальные стандарты», а текст изменений и поправок — в ежемесячно издаваемых инФОРМАционных УКАЗателях «Национальные стандарты». В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее УВЕДОМЛЕНИЕ будет опубликовано в ежемесячно издаваемом инФОРМАционном УКАЗателе «Национальные стандарты». Соответствующая инФОРМАция, УВЕДОМЛЕНИЕ и тексты размещаются также в инФОРМАционной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет

© Стандартинформ. 2008

Настоящий стандарт не может быть полностью или частично воспроизведен, тиражирован и распространен в качестве официального издания без разрешения Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии

Цепи и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным ЗАКОНом от 27 декабря 2002 г. No 184-ФЗ «О техническом регулировании-, а ПРАВИЛА применения национальных стандартов Российской Федерации — ГОСТ Р 1.0—2004 «Стандартизация в Российской Федерации. Основные положения о

Сведения о стандарте

1 РАЗРАБОТАН Федеральным государственным унитарным предприятием •Всероссийский научно- исследовательский институт оптико-физичеосих измерений» (ФГУП 8НИИОФИ)

2 ВНЕСЕН Управлением метрологии Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии

3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ ПРИКАЗом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 26 марта 2008 г. NW 60-ст

4 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ
ГОСТ Р 8.640—2008

Содержание

1 Область применения............................................1

2 НОРМАТИВные ссыпки............................................1

3 Операции поверки.............................................1

4 Средства поверки..............................................2

5 ТРЕБОВАНИЯ к квалификации поверителей................................2

6 ТРЕБОВАНИЯ безопасности.........................................2

7 Условия поверки..............................................3

8 Подготовка и проведение поверки....................................3

9 Обработка результатов измерений....................................9

10 Оформление результатов поверки...................................9

Приложение А (обязательное) ХарАКТеристики радиометров УФ-иэлучения..............10

Библиография...........

-=ОКОНЧАНИЕ ФРАГМЕНТА ДОКУМЕНТА=-

Документ ГОСТ Р 8.640-2008 можно получить тремя способами:

Приобрести полный комплект актуальных документов в виде электронного справочника на DVD. Мы предлагаем специализированные справочники для разных отраслей хозяйственной деятельности.

Так же, можно скачать ГОСТ Р 8.640-2008 или любой другой документ очень быстро и за смешные деньги, с оплатой любым способом (электронными деньгами, безналичным расчетом, отправкой SMS).

Если требуется официальное издание, то можно купить ГОСТ Р 8.640-2008 - печатную форму документа для технических библиотек и лицензирования деятельности предприятия.