Главная » Каталог документов » ГОСТ 5.2105-73

ГОСТ 5.2105-73
"Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции"

- 188,00 руб.;
- Официальное издание;
- Доставка или cамовывоз.
- от 95,00 руб./день;
- Мгновенное подключение;
- Различные формы оплаты.
- от 8 790,00 руб.;
- Тысячи (!) документов на DVD;
- Ежеквартальное обновление.

Статус документа: действующий

Дата вступления в действие: 1973-09-01


Документ относится к следующим разделам классификатора:

Нормативно-технические документы. Национальные стандарты
Электроника
Оптоэлектроника. Лазерное оборудование *Включая фотоэлементы


Содержание для ознакомления



ВНИМАНИЕ!!
ФРАГМЕНТ ТЕКСТА ДОКУМЕНТА ПРЕДСТАВЛЕН ИСКЛЮЧИТЕЛЬНО ДЛЯ ОЗНАКОМЛЕНИЯ И СОДЕРЖИТ ОШИБКИ
ОРИГИНАЛ ДОКУМЕНТА СООТВЕТСТВУЕТ ОФИЦИАЛЬНОМУ ИЗДАНИЮ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР

МИКРОСКОП ЛАЗЕРНЫЙ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИЙ ЛЭМ-2

ТРЕБОВАНИЯ К КАЧЕСТВУ АТТЕСТОВАННОЙ ПРОДУКЦИИ

ГОСТ 5.2105-73

Издание официальное

Г

% t

г *

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СТАНДАРТОВ СОВЕТА МИНИСТРОВ СССР Моста
УДК i И 111 I * Я S61|BM.7 J|M3.'<]

гр,«* Ml

-' ОС. ДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗ* ССР

Посiauoa•)*•»<э••• Государственного аоммата стандартов Соаота Министров СССР Вт 17 августа г. И? 1006 сро» авгдаима установлен

Настоящий стандарт распространяется на лазерный аллнпсо-метрический микроскоп ЛЭМ-2. предка значенный дли определения эллнпгочетрическнх параметрон поляризованною света, определяемых по углам поворота оптических элементов п момент погасании, что поэполяет нсполмоплть прибор для измерения толщины и пок;идтглн преломления прозрачных ди»Л1-ктрнческнч покрытии на отражающих ло.тн|н>нл.....-х поверхностях различных

материалов и. в частности, на полупроводниковых пластинах, я также для контроля рэпномецтнти и од народ ik>cth диэлектрических пленок по площади и пицсдсдшия наличии и толщины окне ла в окнах, вытравленных в процессе изготовлении поду провод ни -коршх нриЛоров

УКАЗанному микроскопу в установленном порядке : ip;i чоен Государственный знак качества

в

МИКРОСКОП ЛАЗЕРНЫЙ ЭЛПИПСОМПРМЧССКИИ

ЛЭМ-1.

1р-( манна ¦ ч.'1-ir аттестованной - роеи--

|'Ч1 гТнркчШпс шкт»«*свв* ЛЭМ-? Qua hi у requirements of wrtilxd pfiHinr''

гост

5.2105—73

с •!»». N71 г.

Им»».* официальное

© И1Д«т«лъ>стао ЫИЦЦЦИЦ 1973

Псрепенагна аоспрешена
Ctp. 2 ГОСТ 5.110S—71

1. ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ Н РАЗМЕРЫ

1.1. Осн

-=ОКОНЧАНИЕ ФРАГМЕНТА ДОКУМЕНТА=-

Документ ГОСТ 5.2105-73 можно получить тремя способами:

Приобрести полный комплект актуальных документов в виде электронного справочника на DVD. Мы предлагаем специализированные справочники для разных отраслей хозяйственной деятельности.

Так же, можно скачать ГОСТ 5.2105-73 или любой другой документ очень быстро и за смешные деньги, с оплатой любым способом (электронными деньгами, безналичным расчетом, отправкой SMS).

Если требуется официальное издание, то можно купить ГОСТ 5.2105-73 - печатную форму документа для технических библиотек и лицензирования деятельности предприятия.