Главная » Каталог документов » ГОСТ 16153-80
ГОСТ 16153-80
ВНИМАНИЕ!!
ФРАГМЕНТ ТЕКСТА ДОКУМЕНТА ПРЕДСТАВЛЕН ИСКЛЮЧИТЕЛЬНО ДЛЯ ОЗНАКОМЛЕНИЯ И СОДЕРЖИТ ОШИБКИ
ОРИГИНАЛ ДОКУМЕНТА СООТВЕТСТВУЕТ ОФИЦИАЛЬНОМУ ИЗДАНИЮ
I pi una B5I
МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ
( т л ii a a p i
ГЕРМАНИЙ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ
Технические условия
MonotrWallinc germanium. Spcci Heat ions
ГОСТ 16153—80
OKI! I? 7441
lata введения UUU.KI
Настоящий стандарт распространяется на монокристалл нческий слиток германия, применяемый лля производства пвдупроводшжовых приборов и устанавливает ТРЕБОВАНИЯ к монокристаллн-ческому германию, изготовляемому для нужд народного хозяйства.
I. ТЕХНИЧЕСКИЕ ТРЕБОВАНИЯ
1.1. Монокристалл нческий слиток германия изготовляют в соответствии с ТРЕБОВАНИЯми настоящего стандарта электронного типа электропроводности, легированные сурьмой* и дырочного типа электропроводности, легированные галлием, по технологической документации, утвержденной в установленном порядке*
1.2. Кристаллографическая ориентация монокристаллического слитка (III).
IJ. Предельное отклонение плоскости торцового среза монокристаллического слитка германия от плоскости ориентации (III) не должно быть более 2\ (Измеленная редакция* Изм. № I).
I.4. Монокристаллический слиток германия по допускаемому относительному отклонению значений удельного электрического сопротивления горнов от номинального значения должен соответствовать подгруппам, УКАЗанным в табл. I.
Т а б л н и а I
' i ¦ ¦ i I РУПИЯ Л О , ¦ ¦¦!¦.-.>. м 01 НОСЯ'
тгл ьн 01* у or tux о не нню кичгти! удельного %МШ к три ясского сопротивлении lOpUOM 1>1 ИОН и н ал ького
Доте», демос относительное огкдо
| . ¦¦ ¦ ¦ КОГО МСМрИ
ЧССКОГО СОЛрОГНПДСННЙ юрноп Ol
номинального значения, %r tit
Иптсрыл номин *мын*тл ниченнн сдельного метрического солрогни
i / | ¦ Ом * CM
±25 ±20 ±15
0,1-45
Выбор номинального значения удельного электрического сопротивления монокристалл ического слитка проводят в соответствии с ГОСТ 8032 по следующим рядам:
• для удельного электрического сопротивления от 0.1 до I Ом*см—0,1; 0,12; 0Л5; 0,2; 0.25; 0,31; 0,4; 0,5; 0,63; 0.8; I Ом -см;
* для удельного электрического сопротивления от I до 10 Ом *см — 1.1; 1,40; 1,8: 2.2; 2.8; 3,5; 4,5: 5,6; 7.1; 9 Ом-см;
- для удельного электрического сопротивления от 10 до 45 Ом • см — 11,2; 14; IS; 22,4; 28; 35,5; 45 Ом * см.
(Измененная редакция, Изм. № 1).
Издание официальное
Перепечатка воспрешена
ГОСТ 16153-80 С. 2
1.5. Плотность дислокаций и геометрические размеры монокристалл и ческих слитков германия должны соответствовать ТРЕБОВАНИЯм табл. 2.
Таблица 2
ПОД Г рул ПИ ЛО ПЛОТКОС IH днслока
1211,1
ПД01М01.'Т1* дислокаций.
Нигер АЛ шаченнм
ЛИДMCTpOtt MClMotpjtCTJLl*
дическола слигка. мм
Длин* иошжрнсглллнче
CKOtO СЛИ1КД. я«.
не менее
см не более ИЛИ It
ИН 1Ср0ОЛС
l
a-it*
2
2-1№-2-1Г>
30-40
60
i
По требованию потребителя монокристаллические слитки германия ГЭ 9 rl изготоа1Я»от диаметром от 40 до 50 мм.
Монокристаллические слитки германия I полгруппы по плотности дислокаций и с плотностью дислокаций I * 10* — 2 ¦ 10* см° подгруппы 2 по плотности дислокаций изготовляли до 01.01.91. (Измененная редакция, Изм. № I, 2),
1.6. Разница между наибольшим и наименьшим диаметрами каждого монокристаллнческого слитка не должна быть более 4 мм.
17. В монокристаллическнх слитках германия подгрупп 2 и ллижна отсутствовать суммарная длина малоугловых [ранни длиной более 'Д среднего диаметра монокристаллических слитков.
Подвижность основных носителей заряда в монокристаллическнх слитках германия в зависимости от удельного электрического сопротивления и типа электронроводиости должна соответствовать НОРМАм, УКАЗанным в табл. 3.
Таблица 3
II N : .11'.' • ГН I'll 11CII *
рнческога сопротивления
Поч . i " . I- ¦ ¦ -. 1 - - . ¦ 1. -. шешелеп )лриа прн температуре 2322 'С. см'/В'с.
пе менее
и е «трон о»
дырок
Ot 0,1 до 0.23 включ.
1К00
1300
Св. 0.24 . 0.49 •
2300
1400
. 0.50 . 0.К9 .
2600
1500
• 0,9 1 2,4 >
3100
1600
. 2.5 » 5,9 .
3300
1760
• 6,0 • 15.9 »
3400
1760
• 16,0 - 45.0 .
3600
1760
(Измененная редакция, Изм. № 2).
1.9. Монокрнсталлический слиток германия не должен иметь внешних дефектов: сколов размером более 3 им, трешкн и раковин, а также внутренних раковин и трещин, обнаруживаемых при резке монокристаллического слитка.
1.10. Монокристалличность германия, кристаллографическая ориентация продольной оси монокристалл ичес кого слитка, предельное отклонение плоскости среза монокристаллического слитка от плоскости ориентации (III), подвижность основных носителей заряда, плотность дислокаций для подгруппы 1 и отсутствие внутренних раковин и трешин обеспечиваются технологией иэготов-
(Измененная редакция, Изм. № 2).
1.1 Г Коды ОКП приведены в приложении 7. (Введен дополнительно, Изм. № I).
1.12. Монокристашическне слитки германия, легированные галлием, вдисталлографической ориентацией (100) изготовляются с диаметром lie менее 20 мм. номинальным значением удельного электрического сопротивления 0,4 и 0.45 Ом - см, с допускаемым относительным отклонением им -ченнй удельного здектрического сопротивления ±10 плотностью дислокаций не более 10 см*Л плотностью дефектов не дислокационного происхождения не более 10 см \ длиной монокристал-лического слитка 50—120 мм.
7 М 25
с. 3 гост 16153-80
НОРМА плотности дефектов недисл окай ионного происхождения и верхняя длина монокристаллического слитка до 0КО 1.92 браковочными не являются* (Введен дополнительно, Изм. № 3). Примеры условного обозначения
МонокристаллнческиЙ слиток германия электронного типа электропроводности, с поминальным значением удельного электрического сопротивления 14, подгрупп й и 3:
ГЭ 1463 ГОСТ 16153-80 То же. дырочного типа электропроводности, с номинальным значением удельного электрического сопротивления 45. подгрупп а и I:
ГД 45а I ГОСТ 16153-80
2. ПРАВИЛА ПРИЕМКИ
2. К Монокристаллический германий принимают партиями. Партия должна состоять из одного монокристаллычсского слитка. Приемосдаточным испытаниям подвергают монокристаллический слиток, определяя: тип электропроводности; значение удельного электрического сопротивления; плотность дислокаций: наличие и суммарную длину малоугловых Гранин для подгрупп 2,3; геометрические размеры и отсутствие внешних дефектов; для германия с кристаллографической орнента-иней (100) — плотность дефектов нелислокаиионного происхождения.
Определение плотности дефектов нелислокаиионного происхождения проводят для набора статистических данных.
Периодическим испытаниям по гарантированных*: параметрам (по п. 1.10) подвергается один монокрнсталлнческий слиток, не реже одного раза в квартал.
(Измененная редакция, Изч. № 2).
2.2. Каждый монокристаллический слиток германия сопровождается документом о качестве, который должен содержать:
- товарный знак или наименование и товарный знак предприятия-изготовителя;
- наименование продукции и ее марки;
* номер монокристаллнческого слитка;
- тип электропроводности;
- значение электрического удельного сопротивления и его отклонения от выбранного номинального значения;
- значение средней плотности дислокаций на верхнем и нижнем торпах монокрнсталлическо-го слитка для подгруппы 2 и на нижнем торце монокристаллнческого слитка для подгруппы 3,
* длину н диаметр монокристаллического слитка в миллиметрах;
• массу нетто в граммах;
- дату изготовления;
• штамп технического контроля;
- обозначение настоящего стандарта;
- штамп органа государственной приемки (лля предприятий, в которых введена госприемка). (Измененная редакция, Изм. № I, 2).
3. методы контроля
3.1. Проверку германия на монокристалличность проводят визуально без применения увеличительных прнборов и без дополнительной обработки монокристаллических слитков.
(Измененная редакция, Изч. № I).
3.2. Тип электропроводности германия определяют на каждом из ториов монокристалл нческо-го слитка по методике, приведенной в приложении К
3.3. Кристаллогр
-=ОКОНЧАНИЕ ФРАГМЕНТА ДОКУМЕНТА=-
ГОСТ 16153-80
"Германий монокристаллический. Технические условия"
Статус документа: действующий
Дата вступления в действие: 1981-01-01
Документ относится к следующим разделам классификатора:
ВНИМАНИЕ!!
ФРАГМЕНТ ТЕКСТА ДОКУМЕНТА ПРЕДСТАВЛЕН ИСКЛЮЧИТЕЛЬНО ДЛЯ ОЗНАКОМЛЕНИЯ И СОДЕРЖИТ ОШИБКИ
ОРИГИНАЛ ДОКУМЕНТА СООТВЕТСТВУЕТ ОФИЦИАЛЬНОМУ ИЗДАНИЮ
I pi una B5I
МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ
( т л ii a a p i
ГЕРМАНИЙ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ
Технические условия
MonotrWallinc germanium. Spcci Heat ions
ГОСТ 16153—80
OKI! I? 7441
lata введения UUU.KI
Настоящий стандарт распространяется на монокристалл нческий слиток германия, применяемый лля производства пвдупроводшжовых приборов и устанавливает ТРЕБОВАНИЯ к монокристаллн-ческому германию, изготовляемому для нужд народного хозяйства.
I. ТЕХНИЧЕСКИЕ ТРЕБОВАНИЯ
1.1. Монокристалл нческий слиток германия изготовляют в соответствии с ТРЕБОВАНИЯми настоящего стандарта электронного типа электропроводности, легированные сурьмой* и дырочного типа электропроводности, легированные галлием, по технологической документации, утвержденной в установленном порядке*
1.2. Кристаллографическая ориентация монокристаллического слитка (III).
IJ. Предельное отклонение плоскости торцового среза монокристаллического слитка германия от плоскости ориентации (III) не должно быть более 2\ (Измеленная редакция* Изм. № I).
I.4. Монокристаллический слиток германия по допускаемому относительному отклонению значений удельного электрического сопротивления горнов от номинального значения должен соответствовать подгруппам, УКАЗанным в табл. I.
Т а б л н и а I
' i ¦ ¦ i I РУПИЯ Л О , ¦ ¦¦!¦.-.>. м 01 НОСЯ'
тгл ьн 01* у or tux о не нню кичгти! удельного %МШ к три ясского сопротивлении lOpUOM 1>1 ИОН и н ал ького
Доте», демос относительное огкдо
| . ¦¦ ¦ ¦ КОГО МСМрИ
ЧССКОГО СОЛрОГНПДСННЙ юрноп Ol
номинального значения, %r tit
Иптсрыл номин *мын*тл ниченнн сдельного метрического солрогни
i / | ¦ Ом * CM
±25 ±20 ±15
0,1-45
Выбор номинального значения удельного электрического сопротивления монокристалл ического слитка проводят в соответствии с ГОСТ 8032 по следующим рядам:
• для удельного электрического сопротивления от 0.1 до I Ом*см—0,1; 0,12; 0Л5; 0,2; 0.25; 0,31; 0,4; 0,5; 0,63; 0.8; I Ом -см;
* для удельного электрического сопротивления от I до 10 Ом *см — 1.1; 1,40; 1,8: 2.2; 2.8; 3,5; 4,5: 5,6; 7.1; 9 Ом-см;
- для удельного электрического сопротивления от 10 до 45 Ом • см — 11,2; 14; IS; 22,4; 28; 35,5; 45 Ом * см.
(Измененная редакция, Изм. № 1).
Издание официальное
Перепечатка воспрешена
ГОСТ 16153-80 С. 2
1.5. Плотность дислокаций и геометрические размеры монокристалл и ческих слитков германия должны соответствовать ТРЕБОВАНИЯм табл. 2.
Таблица 2
ПОД Г рул ПИ ЛО ПЛОТКОС IH днслока
1211,1
ПД01М01.'Т1* дислокаций.
Нигер АЛ шаченнм
ЛИДMCTpOtt MClMotpjtCTJLl*
дическола слигка. мм
Длин* иошжрнсглллнче
CKOtO СЛИ1КД. я«.
не менее
см не более ИЛИ It
ИН 1Ср0ОЛС
l
a-it*
2
2-1№-2-1Г>
30-40
60
i
По требованию потребителя монокристаллические слитки германия ГЭ 9 rl изготоа1Я»от диаметром от 40 до 50 мм.
Монокристаллические слитки германия I полгруппы по плотности дислокаций и с плотностью дислокаций I * 10* — 2 ¦ 10* см° подгруппы 2 по плотности дислокаций изготовляли до 01.01.91. (Измененная редакция, Изм. № I, 2),
1.6. Разница между наибольшим и наименьшим диаметрами каждого монокристаллнческого слитка не должна быть более 4 мм.
17. В монокристаллическнх слитках германия подгрупп 2 и ллижна отсутствовать суммарная длина малоугловых [ранни длиной более 'Д среднего диаметра монокристаллических слитков.
Подвижность основных носителей заряда в монокристаллическнх слитках германия в зависимости от удельного электрического сопротивления и типа электронроводиости должна соответствовать НОРМАм, УКАЗанным в табл. 3.
Таблица 3
II N : .11'.' • ГН I'll 11CII *
рнческога сопротивления
Поч . i " . I- ¦ ¦ -. 1 - - . ¦ 1. -. шешелеп )лриа прн температуре 2322 'С. см'/В'с.
пе менее
и е «трон о»
дырок
Ot 0,1 до 0.23 включ.
1К00
1300
Св. 0.24 . 0.49 •
2300
1400
. 0.50 . 0.К9 .
2600
1500
• 0,9 1 2,4 >
3100
1600
. 2.5 » 5,9 .
3300
1760
• 6,0 • 15.9 »
3400
1760
• 16,0 - 45.0 .
3600
1760
(Измененная редакция, Изм. № 2).
1.9. Монокрнсталлический слиток германия не должен иметь внешних дефектов: сколов размером более 3 им, трешкн и раковин, а также внутренних раковин и трещин, обнаруживаемых при резке монокристаллического слитка.
1.10. Монокристалличность германия, кристаллографическая ориентация продольной оси монокристалл ичес кого слитка, предельное отклонение плоскости среза монокристаллического слитка от плоскости ориентации (III), подвижность основных носителей заряда, плотность дислокаций для подгруппы 1 и отсутствие внутренних раковин и трешин обеспечиваются технологией иэготов-
(Измененная редакция, Изм. № 2).
1.1 Г Коды ОКП приведены в приложении 7. (Введен дополнительно, Изм. № I).
1.12. Монокристашическне слитки германия, легированные галлием, вдисталлографической ориентацией (100) изготовляются с диаметром lie менее 20 мм. номинальным значением удельного электрического сопротивления 0,4 и 0.45 Ом - см, с допускаемым относительным отклонением им -ченнй удельного здектрического сопротивления ±10 плотностью дислокаций не более 10 см*Л плотностью дефектов не дислокационного происхождения не более 10 см \ длиной монокристал-лического слитка 50—120 мм.
7 М 25
с. 3 гост 16153-80
НОРМА плотности дефектов недисл окай ионного происхождения и верхняя длина монокристаллического слитка до 0КО 1.92 браковочными не являются* (Введен дополнительно, Изм. № 3). Примеры условного обозначения
МонокристаллнческиЙ слиток германия электронного типа электропроводности, с поминальным значением удельного электрического сопротивления 14, подгрупп й и 3:
ГЭ 1463 ГОСТ 16153-80 То же. дырочного типа электропроводности, с номинальным значением удельного электрического сопротивления 45. подгрупп а и I:
ГД 45а I ГОСТ 16153-80
2. ПРАВИЛА ПРИЕМКИ
2. К Монокристаллический германий принимают партиями. Партия должна состоять из одного монокристаллычсского слитка. Приемосдаточным испытаниям подвергают монокристаллический слиток, определяя: тип электропроводности; значение удельного электрического сопротивления; плотность дислокаций: наличие и суммарную длину малоугловых Гранин для подгрупп 2,3; геометрические размеры и отсутствие внешних дефектов; для германия с кристаллографической орнента-иней (100) — плотность дефектов нелислокаиионного происхождения.
Определение плотности дефектов нелислокаиионного происхождения проводят для набора статистических данных.
Периодическим испытаниям по гарантированных*: параметрам (по п. 1.10) подвергается один монокрнсталлнческий слиток, не реже одного раза в квартал.
(Измененная редакция, Изч. № 2).
2.2. Каждый монокристаллический слиток германия сопровождается документом о качестве, который должен содержать:
- товарный знак или наименование и товарный знак предприятия-изготовителя;
- наименование продукции и ее марки;
* номер монокристаллнческого слитка;
- тип электропроводности;
- значение электрического удельного сопротивления и его отклонения от выбранного номинального значения;
- значение средней плотности дислокаций на верхнем и нижнем торпах монокрнсталлическо-го слитка для подгруппы 2 и на нижнем торце монокристаллнческого слитка для подгруппы 3,
* длину н диаметр монокристаллического слитка в миллиметрах;
• массу нетто в граммах;
- дату изготовления;
• штамп технического контроля;
- обозначение настоящего стандарта;
- штамп органа государственной приемки (лля предприятий, в которых введена госприемка). (Измененная редакция, Изм. № I, 2).
3. методы контроля
3.1. Проверку германия на монокристалличность проводят визуально без применения увеличительных прнборов и без дополнительной обработки монокристаллических слитков.
(Измененная редакция, Изч. № I).
3.2. Тип электропроводности германия определяют на каждом из ториов монокристалл нческо-го слитка по методике, приведенной в приложении К
3.3. Кристаллогр
-=ОКОНЧАНИЕ ФРАГМЕНТА ДОКУМЕНТА=-
Документ ГОСТ 16153-80 можно получить тремя способами:
Приобрести полный комплект актуальных документов в виде электронного справочника на DVD. Мы предлагаем специализированные справочники для разных отраслей хозяйственной деятельности.
Так же, можно скачать ГОСТ 16153-80 или любой другой документ очень быстро и за смешные деньги, с оплатой любым способом (электронными деньгами, безналичным расчетом, отправкой SMS).
Если требуется официальное издание, то можно купить ГОСТ 16153-80 - печатную форму документа для технических библиотек и лицензирования деятельности предприятия.
