Главная » Каталог документов » ГОСТ 25196-82

ГОСТ 25196-82
"Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования"

- 82,00 руб.;
- Официальное издание;
- Доставка или cамовывоз.
- от 95,00 руб./день;
- Мгновенное подключение;
- Различные формы оплаты.
- от 8 790,00 руб.;
- Тысячи (!) документов на DVD;
- Ежеквартальное обновление.

Статус документа: действующий

Дата вступления в действие: 1983-07-01


Документ относится к следующим разделам классификатора:

Нормативно-технические документы. Национальные стандарты
Гидравлические и пневматические системы и компоненты общего назначения
Вакуумная технология, *Включая вакуумные насосы


Содержание для ознакомления



ВНИМАНИЕ!!
ФРАГМЕНТ ТЕКСТА ДОКУМЕНТА ПРЕДСТАВЛЕН ИСКЛЮЧИТЕЛЬНО ДЛЯ ОЗНАКОМЛЕНИЯ И СОДЕРЖИТ ОШИБКИ
ОРИГИНАЛ ДОКУМЕНТА СООТВЕТСТВУЕТ ОФИЦИАЛЬНОМУ ИЗДАНИЮ

asm-ял

государственный стандарт союза сср

ОБОРУДОВАНИЕ ВАКУУМНОЕ. УСТАНОВКИ ДЛЯ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ

общие технические ТРЕБОВАНИЯ

ГОСТ 25196-82 (СТ СЭВ 2760-80)

Издание официальное

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО СТАНДАРТАМ
УДК «11.11 :«21.38.002.J :006.Ш Группа Э71

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА СС»

ОБОРУДОВАНИЕ ВАКУУМНОЕ.

УСТАНОВКИ ДЛЯ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ

ОКП 02 7335

ПОСТАНОВЛЕНИЕм Го<эТ дарственного комитета СССР по стандартам от 31 марта 1982 г. И» 1181 еров действие установлен

1. Настоящий1 стандарт распространяется нэ установки для ионной имПЛАНтации (далее—установки), предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных н жидких веществ массой от 1.660 57-10-* до 217,534 67-10-" кг (от 1 до 131 а. е. И.(, 9 том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена н сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1.в-10—16 до 1,6-10-" Дж (от 10 до 1200 кэВ) прн изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники.

Стандарт полностью соответствует СТ СЭВ 2760—80.

2. Технические ТРЕБОВАНИЯ к установкам — по ГОСТ 21686—81.

3. Установки должны обеспечивать один нз режимов обработки изделий:

поштучный;

групповой;

комбинированный.

4.

-=ОКОНЧАНИЕ ФРАГМЕНТА ДОКУМЕНТА=-

Документ ГОСТ 25196-82 можно получить тремя способами:

Приобрести полный комплект актуальных документов в виде электронного справочника на DVD. Мы предлагаем специализированные справочники для разных отраслей хозяйственной деятельности.

Так же, можно скачать ГОСТ 25196-82 или любой другой документ очень быстро и за смешные деньги, с оплатой любым способом (электронными деньгами, безналичным расчетом, отправкой SMS).

Если требуется официальное издание, то можно купить ГОСТ 25196-82 - печатную форму документа для технических библиотек и лицензирования деятельности предприятия.