Главная » Каталог документов » ГОСТ 26239.8-84

ГОСТ 26239.8-84
"Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния"

- 146,00 руб.;
- Официальное издание;
- Доставка или cамовывоз.
- от 95,00 руб./день;
- Мгновенное подключение;
- Различные формы оплаты.
- от 8 790,00 руб.;
- Тысячи (!) документов на DVD;
- Ежеквартальное обновление.

Статус документа: действующий

Дата вступления в действие: 1986-01-01


Документ относится к следующим разделам классификатора:

Нормативно-технические документы. Национальные стандарты
Электротехника
Полупроводниковые материалы


Содержание для ознакомления



ВНИМАНИЕ!!
ФРАГМЕНТ ТЕКСТА ДОКУМЕНТА ПРЕДСТАВЛЕН ИСКЛЮЧИТЕЛЬНО ДЛЯ ОЗНАКОМЛЕНИЯ И СОДЕРЖИТ ОШИБКИ
ОРИГИНАЛ ДОКУМЕНТА СООТВЕТСТВУЕТ ОФИЦИАЛЬНОМУ ИЗДАНИЮ

УДК «M.7ll:S43"fcMUS4 Груш» И19

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР

КРЕМНИЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ И ИСХОДНЫЕ ПРОДУКТЫ для fro ПОЛУЧЕНИЯ

Метод определения дихнорс клана, триморсийана ¦><э••>

и тетражлорида кремния • ¦

Semiconductor silicon and raw materials 2lS239 8—84

lor Its production. Method of dich loss! lane, uidilorsllane *¦ •»#

and silicon tetrachloride determination

оксту 1709

ПОСТАНОВЛЕНИЕм Государственного комитета СССР ло стандартам от 13 июля 1984 г. Н9 2491 срои действия установлен

с 01.01.te до 01.01.91

Несоблюдение стандарта преследуется по икону

Настоящий стандарт устанавливает хроматографнческнй метод определения дн хлоре ПЛАНа от 0,02 до 10 %, трнхлоренлаиа от 0,02 до 100 % и тетрахлорида кремния от 0.02 до 100 %. в четыреххло-ристом кремнии ректифнкацнонно очищенном и в смесях четырех-хлориоого кремния с трихлорсиланом-

Мстод основан на хроматографнческом разделении компонентов в изотеринческом режиме с последующим детектированием по теплопроводности и РАСЧЕТом массовых долей определяемых компонентов по площадям хроматографических инков с учетом коэффициентов относительной чувствительности детектора к определяемым компонентам.

I. ОБЩИЕ ТРЕБОВАНИЯ

1.1. Общие ТРЕБОВАНИЯ к методу анализа — по ГОСТ 26239.0-84.

). АППАРАТУРА. МАТЕРИАЛЫ И РЕАКТИВЫ

Хроматограф ЛХМ-8МД с детектором по теплопроводности, регистрирующим устройством, блоком осушки газа-носителя, шпри-цсвой системой ввода образцов.

Хроматографнческие колонки стеклянные или металлические длиной 4 м, диаметром 2—4 мм.

И)дакнс официальное ?

Перепечатка воспрещена
гост 16139.8—Ii Ctp. 2

Электронный интегратор И-02.

Ловушка стеклянная (черт. 1) с гидроокисью калия, ч.д.а., таб-летнровлнноЙ.

Форвакууыиый насос БН 461М.

Сушильный шкаф вакуумный на температуру до 200 °С.

Стаканы стеклянные вместимостью 200 см*.

Чашки фарфоровые диаметром 50 мм.

Воронка стеклянная с отростком диаметром 2—4 мм.

Весы аналитические.

Секундомер по ГОСТ 5072—79.

Шприцы хроматографнческне со шкалой 0—10 мкл.

Бюксы стеклянные по ГОСТ 25336—82 на 5—10 см*.

Стеклоткань.

Трубка фторопласювая диаметром 5 мм.

Пробоотборник стеклянный вместимостью 50—100 см* с фторопластовым краном (черт. 2).

Стеклянная ловушка

ПровооиЗориим

J

/—яма ibssmkh-ion*: I—мши»»: •-выход гаад-иеси*

1—1иор<эт«"стойыИ кран; :'—индикт Doiociv ара-

ЕВ; J—<1chji«PHilt СЧИСТЬ

Черт. 1

Черт. 2

103
Ctp. 3 ГОСТ 362И.В-84

Пипетки стеклянные вместимостью 10—20 см'.

Носители твердые силаиизнроваиные: хроматон N—AW, сферо-хром-2. цветохром 1 КДМДХС, фракции зернеиием 0,250—0,315 мм.

Неподвижная фаза — поли метил сил океанов ый каучук SE-30.

Трихлорснлзн очищенный с массовой долей примесей не Солее 0.01 %.

Тетрахлорнд кремния очищенный с массовой долей примесей не более 0.01%.

Спирт этиловый ректификованный технический по ГОСТ 18300—72.

Ацетон по ГОСТ 2603-79.

Эфир да этиловый х.ч-

Газ-носитель - гелий газообразный в. ч.

Азот жидкий по ГОСТ 9293 - 74.

Хлороформ медицинский по ГОСТ 20015—74.

Ангндрон.

Фосфор лятнокись.

Цеолит Na5X.

). ПОДГОТОВКА К АНАЛИЗУ

3.1. Приготовление сорбента и заполнение хро-м ат«графических колонок

Твердый носитель — хроматон N—AW, сферохром-2 или цветохром 1 КДМДХС — просушивают в су

-=ОКОНЧАНИЕ ФРАГМЕНТА ДОКУМЕНТА=-

Документ ГОСТ 26239.8-84 можно получить тремя способами:

Приобрести полный комплект актуальных документов в виде электронного справочника на DVD. Мы предлагаем специализированные справочники для разных отраслей хозяйственной деятельности.

Так же, можно скачать ГОСТ 26239.8-84 или любой другой документ очень быстро и за смешные деньги, с оплатой любым способом (электронными деньгами, безналичным расчетом, отправкой SMS).

Если требуется официальное издание, то можно купить ГОСТ 26239.8-84 - печатную форму документа для технических библиотек и лицензирования деятельности предприятия.