Главная » Каталог документов » ГОСТ 26239.2-84

ГОСТ 26239.2-84
"Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения бора"

- 227,00 руб.;
- Официальное издание;
- Доставка или cамовывоз.
- от 95,00 руб./день;
- Мгновенное подключение;
- Различные формы оплаты.
- от 8 790,00 руб.;
- Тысячи (!) документов на DVD;
- Ежеквартальное обновление.

Статус документа: действующий

Дата вступления в действие: 1986-01-01


Документ относится к следующим разделам классификатора:

Нормативно-технические документы. Национальные стандарты
Электротехника
Полупроводниковые материалы


Содержание для ознакомления



ВНИМАНИЕ!!
ФРАГМЕНТ ТЕКСТА ДОКУМЕНТА ПРЕДСТАВЛЕН ИСКЛЮЧИТЕЛЬНО ДЛЯ ОЗНАКОМЛЕНИЯ И СОДЕРЖИТ ОШИБКИ
ОРИГИНАЛ ДОКУМЕНТА СООТВЕТСТВУЕТ ОФИЦИАЛЬНОМУ ИЗДАНИЮ

УДК Ш./ЪГ.Ш.ОЬ-.ООЬ.т Группа BJ9

ГОСУД1КГ11ИНЫЙ < i а н л а р 1 СОЮЗА ССР

КРЕМНИЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ИСХОДНЫЕ ПРОДУКТЫ ДЛЯ ЕГО ПОЛУЧ1НИЯ И КВАРЦ

Матод. «продала-,,, .оо. ГОСТ

Semkonductor silicon, raw malt-rial* (or it* producllon 26239«2^84 and quartt. Me'.oodi ol boron drlrtmitialKMi

OKCTV 1709

Гкхтаиоаааинам Го«уд*р<эгааивого iviuttti СССР «о стандартам от О нона |Ма г. т 1190 ср°" мкч.1 устаиоамя

с B1.01.M до 01.01.91

Нас обведем-» оакдарте преследуем:* по >а-о-.

Настоящий стандарт устанавливает химико-спектральный метод •определения бора в полупроводниковом кремнии от 2-10"' до 2-10 1 %, в двуокиси кремнии и киарце от МО-' до M0~s %. в четыреххлорнстом кремнии и трихлорсиланс or 1 -10~* до 7-\0~7% in спектральный метод определении бора от 0,001 до 0.1 % в техническом кремнии.

1. ОЬЩИЕ ТРЕБОВАНИЯ

1.1. Общие ТРЕБОВАНИЯ к методам анализа — по ГОСТ 26239.0-84.

I. ХИМИМО СГМКТРЖЛ*НЫИ МЕТОД ОПРЕДЕЛЕНИЯ ВОРА

.Метод основан на предварительном концентрировании бора путем удаления основного элемента - кремния в виде тетрафторида при анализе пол у проводникового кремния, двуокиси кремния, квэр иа и в виде тетрахлорнда-тетрафторида при анализе четыреххло-ристого кремния и трнхлоренлака в присутствии маннита, образующего с бором труд нелетучее комплексное соединение, и спектрально»: анализе концентрата бора на грлфитовом порошке с добавлением фторопласта

Иадакие офацнапыюе Перепечатка воспрече-а

II
Cip. 2 ГОСТ 262ЭГ2—84

2.1. Аппаратура, материалы и реАКТивы

Спектрограф дифракционный типа ДФС-8 с решеткой: 600 штр/мм с двухлинзовой системой освещения (линза F-75 диаметром 25 мм) нлн спектрограф средией дисперсии тина ИСП-28 с трехлнизовой системой освещения.

Генератор дуговой типа ДГ-2 с дополнительным реостатом, приспособленный для поджнга дуги постоянного тока высокочастотным разрядом.

Выпрямитель 250-300 В. 30-50 А.

Микрофотометр нерегцстрнрующий типа МФ-2.

Спектропроектор типа СПП-2.

Весы аналитические.

Весы торсиониые.

Ступка и пестик из органического стекла.

Станок для заточки графитовых электродов.

Электроды графитовые фасонные для спектрального анализа ОСЧ-7—4, диаметром 6 мм. заточенные на конус; или графитовые электроды, выточенные нз графитовых стержней ОСЧ-7—3. диаметром 6 мм, заточенные на конус с углом прн вершине 15° и с площадкой диаметром 1.5 мм на конце, обожженные в дуге постоянного тока прн 15 А в течение 1S с.

Электроды графитовые фасонные для спектрального анализа ОСЧ-7—4, диаметром 6 мм, с каналом глубиной 6 мм с диаметром 4 мм; или графитовые электроды тех же размеров, выточенные из графитовых стержней ОСЧ-7—3. обожженные в дуге постоянного тока прн 15 А в течение 15 с.

Очщ-тке обжигом подвергают каждую пару электродов непосредственно перед анализом (электрод, заточенный на конус — катод, электрод с каналом — анод). Массовая доля бора в графитовых электродах должна быть менее Ы0~5 %.

Графит порошковый ос. ч. 8—4 по ГОСТ 23463—79.

Лампа инфракрасная ИКЗ-500 с регулятором напряжения типа РНО-250-0,5.

Бокс нз органического стекла типа 8БПТ-ОС для подготовки проб к спектральному анализу.

Бокс нз органического стекла с очищенным через тканьПетря-нова воздухом для химической подготовки проб типа 2БП2-ОС.

Плитки электрические с температурой поверхности не более 105 °С.

Цилиндры нз органического стекла на 10 н 25 см5.

Приспособления нз органического стекла для подготовки проб-к спектральному анализу (подставки для графитовых электродов,, шпатели, набивалкн).

Шкаф сушильный на температуру до 150°С.

Чашки фторопластовые вместимостью 20 и 100 см*.

22
ГОСТ JftJt* .1 - я Сф. 3

Стаканы фторопластовые с завинчивающимися крышками вместимостью 20—25 cms н 75—80 см*

Чашки с крышками нз стеклоуглерода и фторопласта вместимостью 25—30 см3.



-=ОКОНЧАНИЕ ФРАГМЕНТА ДОКУМЕНТА=-

Документ ГОСТ 26239.2-84 можно получить тремя способами:

Приобрести полный комплект актуальных документов в виде электронного справочника на DVD. Мы предлагаем специализированные справочники для разных отраслей хозяйственной деятельности.

Так же, можно скачать ГОСТ 26239.2-84 или любой другой документ очень быстро и за смешные деньги, с оплатой любым способом (электронными деньгами, безналичным расчетом, отправкой SMS).

Если требуется официальное издание, то можно купить ГОСТ 26239.2-84 - печатную форму документа для технических библиотек и лицензирования деятельности предприятия.