Главная » Каталог документов » ГОСТ 26239.7-84
ГОСТ 26239.7-84
ВНИМАНИЕ!!
ФРАГМЕНТ ТЕКСТА ДОКУМЕНТА ПРЕДСТАВЛЕН ИСКЛЮЧИТЕЛЬНО ДЛЯ ОЗНАКОМЛЕНИЯ И СОДЕРЖИТ ОШИБКИ
ОРИГИНАЛ ДОКУМЕНТА СООТВЕТСТВУЕТ ОФИЦИАЛЬНОМУ ИЗДАНИЮ
удк 6e«.7II:i4J.06:00*.3S< Группа ii?
государственный стандарт со юза с с ¦>
КРЕМНИЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ
Метод определеинв кислород» углерода - лота ГОСТ
Semiconductor silicon. Method ol oxygen, 5 A 940 7 Ral
catbon and nitrogen delerminalion АОачО/./— О4*
ОКСТУ 1709
Постамашимн Государственною комитета СССР no стандартам от 13 н«пя 19D4 г. № ]491 срок действия установлен
с 0101 .М до 01.01.9»
Несоблюдение стандарта преследуется по ЗАКОНу
Настоящий стандарт устанавливает метод определения кислорода, углерода и азота в полу проводниковом кремнии с использованием АКТивации ускоренными нонами Же и протоками в интервалах знамений массовых долей примесей;
кислород инструментальный анализ от 5-Ю-' до МО-' % с радиохимическим выделением от М(Н до Ы0_3 %
углерод инструментальный анализ от 2-Ю~е до Ы0~3% с радиохимическим выделением от Ы0"в до Ы0-* %
азоте радиохимическим выделением от l-l О-3 до МО-* %.
Метод основан на облучении анализируемых проб и образцов сравнения ускоренными ионами JHe (определение кислорода и углерода) нлн протонами (определенно азота) с последующим измерением наведенной АКТивности радиоАКТивных изотопов "F и "С на спектрометре у—v-совпадсний.
Содержание примесей в анализируемой пробе определяют путем сопоставления и шеи си вн остей счета импульсов радиоАКТивных изотопов определяемых элементов в пробах и образцах сравнения.
1. ОБЩИЕ ТРЕБОВАНИЯ
1,1. Общие ТРЕБОВАНИЯ к методу анализа — по ГОСТ 26239.0—84.
И)дан~а официальное Перепечатка воспрещен»
86
гост 3U3P.7—М Cip. 2
1 АППАРАТУРА. МАТЕРИАЛЫ И PC АКТИВЫ
Циклотрон, ускоряющий ионы 'Не ио энергии 13 МэВ прн токе ионов в пучке I—5 мкА.
Электростатический тандсмиый ускоритель, ускоряющий протоны по энергии 6,5 М*В при тоне ионов и пучке 1-5 чкА.
Спектрометр у—у-совладсинй с кристаллами Nal (ТI), имеющими размер не менее 100X70 мы.
Универсальный радиометр типа «ТИСС>.
Боксы типа 1К-НЖ для радиохимических работ с дополнит ель-ной зашитой из свинцовых кирпичей и проевпнцоваиного стекла в соответствии с ТРЕБОВАНИЯми НРБ-78
Средства индивидуальной защиты от излучения и загрязнений радиоАКТивными веществами, согласно ТРЕБОВАНИЯм ОСП-72.
Секундомер по ГОСТ 5072— 79.
Весы аналитические.
Центрифуга лабораторная со скоростью вращения 5000 об/мии. Плитка электрическая. Штангенциркуль типа В20034.
Насос водоструйный лабораторный стекляниый по ГОСТ 10696-75.
Шайбы медные диаметром 35 мм, высотой 13 мм с комплектом съемных алюминиевых диафрагм толщиной 0,4—0,5 мм. Внешний диаметр диафрагм 30 мм, диаметры отверстий 7, 8, 9, 10, И, 12, 13. 14 мм, по 5—8 шт. каждого размера.
Кассеты алюминиевые диаметром 28 мм, высотой 5 мм. Толщина дна и крышки кассеты по 1,5 мм.
Фольга алюминиевая толщиной 10, 15, 23 мкм
Асбест листовой.
Набор пробирок из фторопласта-4 вместимостью по 20 см'. Щипцы тигельные.
Тпгли никелевые диаметром 30 мм, высотой 50 мм.
Печь тигельная вертикальная, диаметр кварцевой вставки 60 мм, высота 200 мм, мощность 1.5 кВт или аналогичная печь.
Шланг резиновый диаметром б мм.
Шланг полнхллрпиннловый диаметром 6 мм.
Сплнкагелк для хроматографии марки КСК с размером зерна 100 мкм.
Бумага фильтровальная.
Бумага полулогарифмическая по ГОСТ 334—73. Калька.
Образцы сравнения: пластины кварцевого оптического стекла марки КВ размером 15X15X3 мм; пластины, вырезанные из углей спектральных ОСЧ 7—3 диаметром 6 мм и толщиной 3 мм: пластины нитрида алюминия размером 15X15X3 мм.
Пинцеты металлические.
87
Cip. 3 ГОСТ W39J—U
Пинцеты нз фторопласта-4. Шпатели металлические.
Абразивные порошки М28, М20, М14. МЮ по ГОСТ 3647—80. Галлий металлический технический. Индий металлический технический по ГОСТ 10297— 75. Чашки нз фторопласта-4. диаметром 30—35 мм, высотой 20—
25 мм.
Реакционная колба из молибденового стекла вместимостью 100 см1 круглодонная.
Пипетки из оргстекла на 5. 10 см3
Склянки Дрекселя вместимостью 50, 100 см3.
Стаканы стеклянные вместимостью 50, 100. 500 н 1000 смя
Фильтры Шотта 4. диаметром 40 мм-
Колбы Бунзена вместимостью 500 см3.
Цилиндры стеклянные мерные вместимостью 25, 50 см3.
Цилиндры мерные из оргстекла вместимостью 10, 15 см\
Колбы стеклянные мерные вместимостью 500 см3.
Пробки резиновые.
Кислота азотная по ГОСТ 4461—77. концентрированная. Кислота сериая по ГОСТ 4204—77, концентрированная.
Кислота фтористоводородная по ГОСТ 10484—78, концентрированная.
Лантан азотнокислый.
Натрий фтористый технический по ГОСТ 2871—75. Барий хлористый технический но ГОСТ 742— 78. Аммиак водный по ГОСТ 3760-79. х.ч.. концентрированный и 25 й-ный.
Натрий азотнокислый технический по ГОСТ 828—77. Натрия гидроокись но ГОСТ 4828—83. ч. Натрий двууглекислый по ГОСТ 2156—76, ч. Эфир днзтпловый, хч
Углерод четырех хлористый по ГОСТ 20288—74.
Спирт этиловый ректификованный технический но ГОС1-
18300—72.
Вода дистиллированная по ГОСТ 6709—72.
Раствор I: раствор лантана азотнокислого, содержащий 0.2 г лантана в I Сил 12 г I.a(NO-ь-бН^О растворяют при нагревании а 170 см3 концентрированной азотной кислоты, раствор охлаждаю*) до комнатной температуры и переносят в мерную колбу вместимостью 500 см3, затем доводят до метки дистиллированной водой.
Раствор 2: смесь кислот для полирования и растворения образцов кремния. Готовят в полиэтиленовой банке вместимостью 500 счэ из концентрированных азотной и фтористоводородной кис-до! в соотношении 3:1 но объему.
Определяют содержание фтор-иона в приготовленной смеси кислот: в четыре стакана вместимостью по 50 см3 приливают по
ГОСТ x63j9.7—81 Стр. 4
10 см1 раствора I к нагревают на электроплитке ло кипения. В кипящий раствор I приливают но 5 см3 раствора 2. Образовавшийся в каждой стакане осадок фторида лантана отделяют центрифугированием, промывают 5 М азотной кислоты, этиловым спиртом с эфиром, эфиром н высушивают до постоянной массы. За 100 %-ный выход фторида лантана принимают среднее арифметическое масс четыре? выделенных осадков.
Аммиачный раствор хлорида бария, содержащий 0,14 г барии в 1 cms:250 г BaCl^SHjO растворяют в дистиллированной воде, добавляют 91 см4 25%-ного раствора аммиака, переносят в мерную колбу вместимостью 1000 см3 н доводят до метки дистиллированной водой. Раствор переносят в стакан вместимостью 2000 си4 и доводят до кипения. Охлажденный раствор фильтруют и хранят в герметически закрытой посуде. Если при хранении раствора выпадает осадок, раствор необходимо повторно прокипятить н осадок отфильтровать.
Галлий-индиевый сплав, близкий по составу к эвтектике (от 20 до 30 % индия и от 80 до 70 % галлия): в фарфоровую чашку помешают смесь галлия и индия в отношении 7:3 по массе, нагревают на электрической плитке в течение 2--2,5 ч н о"Л1Ждаг:~ „ прт-духе.
3. ПОДГОТОВКА К АНАЛИЗУ
31 Подготовка анализируемых пластин кремния и образцов сравнения к облучению
3.1.1. Для получения одного результата анализа необходимо подготовить и облучить не менее двух параллельных пластин кремния. Поверхность отобранных на анализ пластин дотжнз быть химически полированной. Для получения химически полированном поверхности кремнии сначала обрабатывают на абразивных порошках М2в, N130, Ml4. переходя постепенно от более грубого порошка М28 к MI4. При ручной шлифовке абразивный порошок наносят на плоские стеклянные пластины и смачивают водой. Для каждого померз порошка должна быть отдельная пластина. Порошками обрабатывают обе плоскости пластины кремния Боковую поверхность не обрабатывают. После шлифовки на каждом порошке на поверхностях не должно быть царапин, пластины кремния следует тщательно отмывать от предыдущего порошка.
Смесь кислот для химического полирования (раствор 2) в количестве, достаточном для полного погружения пластин, наливают в чашку лз фторопласта. Пластину кремния зажимают в пинцет нз фторопласта и погружают в полирующую смесь. В процессе полирования смесь непрерывно перемешивают. Полирование заканчивают, когд
-=ОКОНЧАНИЕ ФРАГМЕНТА ДОКУМЕНТА=-
ГОСТ 26239.7-84
"Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота"
Статус документа: действующий
Дата вступления в действие: 1986-01-01
Документ относится к следующим разделам классификатора:
ВНИМАНИЕ!!
ФРАГМЕНТ ТЕКСТА ДОКУМЕНТА ПРЕДСТАВЛЕН ИСКЛЮЧИТЕЛЬНО ДЛЯ ОЗНАКОМЛЕНИЯ И СОДЕРЖИТ ОШИБКИ
ОРИГИНАЛ ДОКУМЕНТА СООТВЕТСТВУЕТ ОФИЦИАЛЬНОМУ ИЗДАНИЮ
удк 6e«.7II:i4J.06:00*.3S< Группа ii?
государственный стандарт со юза с с ¦>
КРЕМНИЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ
Метод определеинв кислород» углерода - лота ГОСТ
Semiconductor silicon. Method ol oxygen, 5 A 940 7 Ral
catbon and nitrogen delerminalion АОачО/./— О4*
ОКСТУ 1709
Постамашимн Государственною комитета СССР no стандартам от 13 н«пя 19D4 г. № ]491 срок действия установлен
с 0101 .М до 01.01.9»
Несоблюдение стандарта преследуется по ЗАКОНу
Настоящий стандарт устанавливает метод определения кислорода, углерода и азота в полу проводниковом кремнии с использованием АКТивации ускоренными нонами Же и протоками в интервалах знамений массовых долей примесей;
кислород инструментальный анализ от 5-Ю-' до МО-' % с радиохимическим выделением от М(Н до Ы0_3 %
углерод инструментальный анализ от 2-Ю~е до Ы0~3% с радиохимическим выделением от Ы0"в до Ы0-* %
азоте радиохимическим выделением от l-l О-3 до МО-* %.
Метод основан на облучении анализируемых проб и образцов сравнения ускоренными ионами JHe (определение кислорода и углерода) нлн протонами (определенно азота) с последующим измерением наведенной АКТивности радиоАКТивных изотопов "F и "С на спектрометре у—v-совпадсний.
Содержание примесей в анализируемой пробе определяют путем сопоставления и шеи си вн остей счета импульсов радиоАКТивных изотопов определяемых элементов в пробах и образцах сравнения.
1. ОБЩИЕ ТРЕБОВАНИЯ
1,1. Общие ТРЕБОВАНИЯ к методу анализа — по ГОСТ 26239.0—84.
И)дан~а официальное Перепечатка воспрещен»
86
гост 3U3P.7—М Cip. 2
1 АППАРАТУРА. МАТЕРИАЛЫ И PC АКТИВЫ
Циклотрон, ускоряющий ионы 'Не ио энергии 13 МэВ прн токе ионов в пучке I—5 мкА.
Электростатический тандсмиый ускоритель, ускоряющий протоны по энергии 6,5 М*В при тоне ионов и пучке 1-5 чкА.
Спектрометр у—у-совладсинй с кристаллами Nal (ТI), имеющими размер не менее 100X70 мы.
Универсальный радиометр типа «ТИСС>.
Боксы типа 1К-НЖ для радиохимических работ с дополнит ель-ной зашитой из свинцовых кирпичей и проевпнцоваиного стекла в соответствии с ТРЕБОВАНИЯми НРБ-78
Средства индивидуальной защиты от излучения и загрязнений радиоАКТивными веществами, согласно ТРЕБОВАНИЯм ОСП-72.
Секундомер по ГОСТ 5072— 79.
Весы аналитические.
Центрифуга лабораторная со скоростью вращения 5000 об/мии. Плитка электрическая. Штангенциркуль типа В20034.
Насос водоструйный лабораторный стекляниый по ГОСТ 10696-75.
Шайбы медные диаметром 35 мм, высотой 13 мм с комплектом съемных алюминиевых диафрагм толщиной 0,4—0,5 мм. Внешний диаметр диафрагм 30 мм, диаметры отверстий 7, 8, 9, 10, И, 12, 13. 14 мм, по 5—8 шт. каждого размера.
Кассеты алюминиевые диаметром 28 мм, высотой 5 мм. Толщина дна и крышки кассеты по 1,5 мм.
Фольга алюминиевая толщиной 10, 15, 23 мкм
Асбест листовой.
Набор пробирок из фторопласта-4 вместимостью по 20 см'. Щипцы тигельные.
Тпгли никелевые диаметром 30 мм, высотой 50 мм.
Печь тигельная вертикальная, диаметр кварцевой вставки 60 мм, высота 200 мм, мощность 1.5 кВт или аналогичная печь.
Шланг резиновый диаметром б мм.
Шланг полнхллрпиннловый диаметром 6 мм.
Сплнкагелк для хроматографии марки КСК с размером зерна 100 мкм.
Бумага фильтровальная.
Бумага полулогарифмическая по ГОСТ 334—73. Калька.
Образцы сравнения: пластины кварцевого оптического стекла марки КВ размером 15X15X3 мм; пластины, вырезанные из углей спектральных ОСЧ 7—3 диаметром 6 мм и толщиной 3 мм: пластины нитрида алюминия размером 15X15X3 мм.
Пинцеты металлические.
87
Cip. 3 ГОСТ W39J—U
Пинцеты нз фторопласта-4. Шпатели металлические.
Абразивные порошки М28, М20, М14. МЮ по ГОСТ 3647—80. Галлий металлический технический. Индий металлический технический по ГОСТ 10297— 75. Чашки нз фторопласта-4. диаметром 30—35 мм, высотой 20—
25 мм.
Реакционная колба из молибденового стекла вместимостью 100 см1 круглодонная.
Пипетки из оргстекла на 5. 10 см3
Склянки Дрекселя вместимостью 50, 100 см3.
Стаканы стеклянные вместимостью 50, 100. 500 н 1000 смя
Фильтры Шотта 4. диаметром 40 мм-
Колбы Бунзена вместимостью 500 см3.
Цилиндры стеклянные мерные вместимостью 25, 50 см3.
Цилиндры мерные из оргстекла вместимостью 10, 15 см\
Колбы стеклянные мерные вместимостью 500 см3.
Пробки резиновые.
Кислота азотная по ГОСТ 4461—77. концентрированная. Кислота сериая по ГОСТ 4204—77, концентрированная.
Кислота фтористоводородная по ГОСТ 10484—78, концентрированная.
Лантан азотнокислый.
Натрий фтористый технический по ГОСТ 2871—75. Барий хлористый технический но ГОСТ 742— 78. Аммиак водный по ГОСТ 3760-79. х.ч.. концентрированный и 25 й-ный.
Натрий азотнокислый технический по ГОСТ 828—77. Натрия гидроокись но ГОСТ 4828—83. ч. Натрий двууглекислый по ГОСТ 2156—76, ч. Эфир днзтпловый, хч
Углерод четырех хлористый по ГОСТ 20288—74.
Спирт этиловый ректификованный технический но ГОС1-
18300—72.
Вода дистиллированная по ГОСТ 6709—72.
Раствор I: раствор лантана азотнокислого, содержащий 0.2 г лантана в I Сил 12 г I.a(NO-ь-бН^О растворяют при нагревании а 170 см3 концентрированной азотной кислоты, раствор охлаждаю*) до комнатной температуры и переносят в мерную колбу вместимостью 500 см3, затем доводят до метки дистиллированной водой.
Раствор 2: смесь кислот для полирования и растворения образцов кремния. Готовят в полиэтиленовой банке вместимостью 500 счэ из концентрированных азотной и фтористоводородной кис-до! в соотношении 3:1 но объему.
Определяют содержание фтор-иона в приготовленной смеси кислот: в четыре стакана вместимостью по 50 см3 приливают по
ГОСТ x63j9.7—81 Стр. 4
10 см1 раствора I к нагревают на электроплитке ло кипения. В кипящий раствор I приливают но 5 см3 раствора 2. Образовавшийся в каждой стакане осадок фторида лантана отделяют центрифугированием, промывают 5 М азотной кислоты, этиловым спиртом с эфиром, эфиром н высушивают до постоянной массы. За 100 %-ный выход фторида лантана принимают среднее арифметическое масс четыре? выделенных осадков.
Аммиачный раствор хлорида бария, содержащий 0,14 г барии в 1 cms:250 г BaCl^SHjO растворяют в дистиллированной воде, добавляют 91 см4 25%-ного раствора аммиака, переносят в мерную колбу вместимостью 1000 см3 н доводят до метки дистиллированной водой. Раствор переносят в стакан вместимостью 2000 си4 и доводят до кипения. Охлажденный раствор фильтруют и хранят в герметически закрытой посуде. Если при хранении раствора выпадает осадок, раствор необходимо повторно прокипятить н осадок отфильтровать.
Галлий-индиевый сплав, близкий по составу к эвтектике (от 20 до 30 % индия и от 80 до 70 % галлия): в фарфоровую чашку помешают смесь галлия и индия в отношении 7:3 по массе, нагревают на электрической плитке в течение 2--2,5 ч н о"Л1Ждаг:~ „ прт-духе.
3. ПОДГОТОВКА К АНАЛИЗУ
31 Подготовка анализируемых пластин кремния и образцов сравнения к облучению
3.1.1. Для получения одного результата анализа необходимо подготовить и облучить не менее двух параллельных пластин кремния. Поверхность отобранных на анализ пластин дотжнз быть химически полированной. Для получения химически полированном поверхности кремнии сначала обрабатывают на абразивных порошках М2в, N130, Ml4. переходя постепенно от более грубого порошка М28 к MI4. При ручной шлифовке абразивный порошок наносят на плоские стеклянные пластины и смачивают водой. Для каждого померз порошка должна быть отдельная пластина. Порошками обрабатывают обе плоскости пластины кремния Боковую поверхность не обрабатывают. После шлифовки на каждом порошке на поверхностях не должно быть царапин, пластины кремния следует тщательно отмывать от предыдущего порошка.
Смесь кислот для химического полирования (раствор 2) в количестве, достаточном для полного погружения пластин, наливают в чашку лз фторопласта. Пластину кремния зажимают в пинцет нз фторопласта и погружают в полирующую смесь. В процессе полирования смесь непрерывно перемешивают. Полирование заканчивают, когд
-=ОКОНЧАНИЕ ФРАГМЕНТА ДОКУМЕНТА=-
Документ ГОСТ 26239.7-84 можно получить тремя способами:
Приобрести полный комплект актуальных документов в виде электронного справочника на DVD. Мы предлагаем специализированные справочники для разных отраслей хозяйственной деятельности.
Так же, можно скачать ГОСТ 26239.7-84 или любой другой документ очень быстро и за смешные деньги, с оплатой любым способом (электронными деньгами, безналичным расчетом, отправкой SMS).
Если требуется официальное издание, то можно купить ГОСТ 26239.7-84 - печатную форму документа для технических библиотек и лицензирования деятельности предприятия.
